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문제 정의
- 또한, 엘지이노텍에서는 한국세라믹기술원에서 개발 중인 “플라즈마열분해법을 이용한 초고순도 탄소분말 제조 기술”을 적용하여 7N급의 초고순도 탄화규소 분말을 제조하기 위한 연구를 진행하고 있다.
- 그간 고품질 탄화규소 소재기술 개발 현황에 대한 리뷰 또는 보고가 많이 이루어져왔기 때문에 독자들은 전반적인 탄화규소 기술개발에 대해 익히 알고 있을 것이다. 본고에서는 최근 WPM 사업을 중심으로 진행되고 있는 국내 초고순도 탄화규소 분말기술의 개발 현황과 최근 나타난 시장의 변화에 대해 알아보고 향후 초고순도 탄화규소 분말의 개발방향에 대해 논하고자 한다.
- 특히, 원료로 사용되는 TEOS의 경우 현 수준으로도 6N급 이상의 초고순도화가 가능하기 때문에 (WPM 3차년 결과보고) 세계 최고수준의 초고순도 탄화규소 분말을 제조하기에 적합한 방법이다. 현재 한국과학기술연구원 박상환 박사팀에서 7N급 초고순도 탄화규소 분말제조기술 확보를 목표로 연구를 진행하고 있다. 이들은 다양한 액상의 출발원료를 적용하여 hybrid precursor를 합성하고 이를 적정한 고온 조건에서 합성하여 β상의 초고순도 탄화규소 분말을 제조하였는데, 본 공정의 장점은 순도제어의 용이성과 함께 평균입도 70 µm 이상의 조립의 β상 탄화규소 분말을 얻을 수 있어 고품질 단결정 성장에 적합하다(Fig.
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