최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)테라세미콘 |
---|---|
연구책임자 | 이병일 |
참여연구자 | 정휘운 , 오상균 , 김병조 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2015-10 |
과제시작연도 | 2014 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
등록번호 | TRKO201600018062 |
과제고유번호 | 1711017672 |
사업명 | 전자정보디바이스산업원천기술개발 |
DB 구축일자 | 2017-09-20 |
키워드 | 저온 다결정 실리콘.급속가열 열처리.디스플레이.8세대.능동형 유기발광다이오드.LTPS.rapid thermal annealing.display.8G.AMOLED. |
□ 최종목표
o 8G급 대면적 RTP 시스템 및 장비 부품 개발
- 600℃이상 고온·급속 대면적 annealing system 개발
- 초당 30℃ ramp up이 가능한 고내구성 heater 개발
- 600℃ ±3℃ temp. uniformity를 갖는 급속 열처리 기술 개발
- Glass 면내 실시간 온도 모니터링 및 제어 기술 개발
- 온도예측제어알고리즘(projected temp. control algorithm)기술개발
- 장비 운용 소프트웨어(온도/Mecha.) 개발
- 8세대
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.