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NTIS 바로가기주관연구기관 | 홍익대학교 녹색공학연구센터 Hongik University |
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연구책임자 | 김용석 |
참여연구자 | 손현철 , 나석주 , 박돈원 , 조병호 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2015-09 |
과제시작연도 | 2014 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
등록번호 | TRKO201600018063 |
과제고유번호 | 1711017654 |
사업명 | 전자정보디바이스산업원천기술개발 |
DB 구축일자 | 2017-09-20 |
키워드 | 레이져.열처리.RTP.a-Si.OLED. |
□ 최종목표
평판 디스플레이산업과 반도체 산업에서 요구되는 급속 열처리 공정을 구현하는데 요구되는 핵심 요소 기술을 개발
□ 개발내용 및 결과
- 평판 디스플레이의 급속 열처리 공정의 경우, thermal mass가 크기 때문에, 매엽식으로 feeding되는 유리 기판의 온도를 일정하게 유지하기 위하여, 가열 온도 프로파일을 적절하게 설정하는 것이 필요함.
- 또한 이와 같은 급속 가열 과정에서 유리 기판의 온도, 잔류 응력 및 휨 상태, 그리고 이러한 열처리 과정을 거쳐 얻어진 유리 기판의 기계적 성질
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