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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국디스플레이연구조합 |
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연구책임자 | 노재상 |
참여연구자 | 김용석 , 임재원 , 이병일 , 이경수 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2015-09 |
과제시작연도 | 2014 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
등록번호 | TRKO201600018245 |
과제고유번호 | 1711017548 |
사업명 | 전자정보디바이스산업원천기술개발 |
DB 구축일자 | 2017-09-20 |
키워드 | 디스플레이.반도체.열처리.유기발광다이오드.스크라이브라인. |
□ 최종목표
[1세부] 반도체-디스플레이 열처리 장비용 핵심 원천 기술개발
- 평판 디스플레이산업과 반도체 산업에서 요구되는 급속 열처리 공정을 구현하는데 요구되는 핵심 요소 기술을 개발
[2세부] 1x/2x급 반도체 공정용 극순간 열처리 장비 개발
- 1x/2x nm급 반도체 공정에서 요구하는 회로패턴의 Misalign을 개선할 수 있는 Ultrafast thermal treatment 방식을 이용한 스크라이브 라인내 Align key의 국소 면적만을 열처리 할 수 있는 장비 개발
- High throu
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