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NTIS 바로가기주관연구기관 | 홍익대학교 Hongik University |
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연구책임자 | 박승호 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2022-03 |
과제시작연도 | 2021 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
등록번호 | TRKO202200013109 |
과제고유번호 | 1711145361 |
사업명 | 개인기초연구(과기정통부)(R&D) |
DB 구축일자 | 2022-10-18 |
키워드 | 고출력 빅셀.대면적 열처리.비정질 실리콘 결정화.도펀트 활성화.고체산화물연료 전지재료 소결.high power VCSELs.large-area heat treatment.amorphous silicon crystallization.dopant activation.SOFC material sintering. |
연구개요
본 과제에서는 기존의 다양한 산업분야에서 널리 사용되고 있는 장시간의 Furnace 열처리 공정을 대체할 수 있는, 고출력 대면적 VCSEL (Vertical Cavity Surface Emitting Laser) 열처리 공정을 개발하고자 하며 반도체, 디스플레이 및 고체산화물연료전지 박막 재료를 그 대상으로 한다.
연구 목표대비 연구결과
연구목표: 고출력 VCSEL에 대한 열적, 광학적 이해를 바탕으로 디스플레이용 비정질 실리콘 박막의 VCSEL 이용 급속 고상 결정화 공정, 실리콘 Wafer 용
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