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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)에스엔유프리시젼 |
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연구책임자 | 박희재 |
참여연구자 | 김석 , 김형준 , 박만진 , 전충삼 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2012-10 |
과제시작연도 | 2011 |
주관부처 | 지식경제부 Ministry of Knowledge Economy |
등록번호 | TRKO201700001122 |
과제고유번호 | 1415117582 |
사업명 | 전자정보디바이스산업원천기술개발 |
DB 구축일자 | 2017-09-20 |
키워드 | 전자 현미경.CD 측정.고진공.전자 광학계.CD-SEM. |
□ 최종목표
고분해능의 전자 광학 렌즈 기술 개발과 고진공, 고정밀 Vaccum Stage 개발, 다양한 CD 측정용 Algorithm의 개발을 통해 High Throughput In-line 계측 시스템을 구현하여, 향후 반도체 생산 공정에 적용 가능한 1.8nm급의 고분해능을 갖는 반도체용 In-line CD-SEM의 개발을 목표로 한다.
□ 개발내용 및 결과
- 1.8nm급 Column 개발
전자 광학계 설계 기술을 통해 Lens 설계 및 최적화 연구 진행
- 5X10-10
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