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NTIS 바로가기주관연구기관 | 부산대학교 산학협력단 Busan National University |
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연구책임자 | 이해준 |
참여연구자 | 송인철 , 임연호 , 유신재 , 송미영 , 주정훈 , 서광원 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2012-11 |
과제시작연도 | 2011 |
주관부처 | 지식경제부 Ministry of Knowledge Economy |
등록번호 | TRKO201700001129 |
과제고유번호 | 1415117596 |
사업명 | 전자정보디바이스산업원천기술개발 |
DB 구축일자 | 2017-09-20 |
키워드 | 플라즈마 시뮬레이션.반도체 장비.반도체 공정.표준 데이터베이스.병렬연산.표면반응. |
최종목표
계산의 타당성과 정확성, 실제적으로 디자인에 쓰일 수 있을 정도의 빠른 계산 속도, 계산에 사용된 기체 및 표면 반응 data의 적합성, 또한 그 결과물에 대한 실험적 비교검증 데이터 구축 등의 요구조건을 갖춘 고신뢰성 시뮬레이터를 개발함
개발내용 및 결과
- 대면적 (450 mm wafer) 플라즈마 공정 해석용 고신뢰성 시뮬레이터: GPU 이용 기존 CPU 코드 대비 30배 정도 속도 향상
-High aspect ratio (AR) feature profile을 해석하기 위한 플라즈마 공정해
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