초록 ▼

ㅇ 연구개발 목표 및 내용
ㆍ 최종 목표
- 반도체장비산업의 글로벌 경쟁력 확보를 위한 플라즈마 데이터 기반 공정 데이터 정보화 및 공정 장비 지능화 기술 개발 통한 핵심원천기술 확보 및 개발 기술 실증
ㆍ 전체 내용
- 4차 산업혁명 구현기술인 IoT, 빅데이터 및 인공지능 등의 기술 적용을 통해 데이터의 분석과 활용을 극대화한 반도체제조 생산성 향상을 위한 플라즈마 공정장비 지능화 기술 개발
ㆍ 1단계
- 목표 : 연구실 규모의 기본성능 검증 및 핵심성능 평가를 위한 반도체 플라즈마 공정장비 지능

ㅇ 연구개발 목표 및 내용
ㆍ 최종 목표
- 반도체장비산업의 글로벌 경쟁력 확보를 위한 플라즈마 데이터 기반 공정 데이터 정보화 및 공정 장비 지능화 기술 개발 통한 핵심원천기술 확보 및 개발 기술 실증
ㆍ 전체 내용
- 4차 산업혁명 구현기술인 IoT, 빅데이터 및 인공지능 등의 기술 적용을 통해 데이터의 분석과 활용을 극대화한 반도체제조 생산성 향상을 위한 플라즈마 공정장비 지능화 기술 개발
ㆍ 1단계
- 목표 : 연구실 규모의 기본성능 검증 및 핵심성능 평가를 위한 반도체 플라즈마 공정장비 지능화를 위한 요소 기술 개발 및 검증
- 내용 : ⓵ 아이디어, 특허 등 개념 정립, ⓶ 연구실 규모의 기본성능 검증, ⓷ 연구실 규모의 핵심성능 평가

ㅇ 연구개발성과 활용계획 및 기대 효과
▪ 세계 최고 수준의 차세대 반도체장비 핵심원천기술 확보
▪ 국가 주력산업인 반도체 산업의 초격차 기술적 전략을 통한 글로벌 1위 경쟁력 유지 및 지역 특화산업분야 기술혁신
▪ 반도체/디스플레이 장비 국산화율 향상, 시장 점유율 확대 및 일자리 창출


(출처 : 요약문 9p)

목차 Contents

• 표지 ... 1
• 제출서 ... 2
• 연차보고서 ... 7
• 요약문 ... 9
• 목차 ... 10
• I. 실 적 ... 11
• 1. 융합연구 개요 ... 11
• 1-1. 문제해결 목적 ... 11
• 1-2. 총괄 개요 ... 18
• 2. 전년도 연구개발 성과 ... 19
• 2-1. 총괄 목표 및 내용 ... 19
• 2-2. 세부과제별 연구내용 ... 26
• 2-3. 연구개발 성과 ... 97
• 3. 융합연구 추진 성과 ... 108
• 3-1. 추진 체계 ... 108
• 3-2. 추진 실적 ... 109
• 4. 연구수행에 따른 문제점 및 개선 방향 ... 127
• 4-1. 문제점 및 개선방향(대책) ... 127
• 4-2. 성과 극대화를 위한 기회요인 ... 129
• Ⅱ. 계 획 ... 131
• 1. 국내·외 관련분야의 환경변화 ... 131
• 2. 당해연도 연구개발 목표 및 내용 ... 136
• 2-1. 총괄 목표 및 내용 ... 136
• 2-2. 세부과제별 추진 계획 ... 152
• 2-3. 연구개발 성과 목표 ... 187
• 2-4. 기술경로도 ... 188
• 3. 융합연구 추진 전략 ... 193
• 3-1. 추진 체계 ... 193
• 3-2. 추진 전략 ... 194
• 4. 총 사업비 ... 195
• Ⅲ. 붙 임 ... 199
• 1. 융합연구단 참여인력 현황 ... 199
• 2. 대표성과 요약문 및 증빙 ... 205
• 끝페이지 ... 245