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반도체 wafer back grinding sludge를 이용한 태양전지용 규소 다결정 wafer 제조 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 인천대학교 산학협력단
연구책임자 배철훈
참여연구자 김영관 , 양수원 , 김선진 , 정광필 , 윤원태 , 이영애
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2010-02
과제시작연도 2008
주관부처 산업통상자원부
Ministry of Trade, Industry and Energy
등록번호 TRKO201700003295
과제고유번호 1415093685
사업명 신재생에너지기술개발
DB 구축일자 2018-02-24
키워드 규소.규소슬러지.재활용.태양전지.기판.
DOI https://doi.org/10.23000/TRKO201700003295

초록

반도체 제조 최종 공정에서 발생되는 sludge는 규소와 DI water로 구성되어있음. 이 중에 규소는 반도체 공정에 사용되는 기판이기 때문에 불순물(특히 dopant인 B, P)의 양이 적어서 재활용 할 경우에 태양전지로 사용이 가능함. 다만 이 규소의 크기가 매우 작아서 불과 섞여있는 경우에 회수가 어렵고 용해가 어려웠음. 본 과제를 시행하면서 이 재료에 대하여 용해 공정이 개발되고 또한 태양전지로 재활용되는 가능성이 확인되었음.
(출처: 보고서 초록 5p)

목차 Contents

  • 표지 ... 1
  • 제출문 ... 3
  • 기술개발사업 보고서 초록 ... 4
  • 연구개발사업 주요 연구성과 ... 7
  • 목차 ... 10
  • 제1장 서론 ... 11
  • 제1절 개발기술의 중요성 및 필요성 ... 11
  • 제2절 국내·외 관련 기술의 현황 ... 15
  • 제3절 기술개발 시 예상되는 기술적·경제적 파급효과 ... 16
  • 제2장 기술개발 내용 및 방법 ... 18
  • 제1절 최종 목표 및 평가 방법 ... 18
  • 제2절 단계 목표 및 평가 방법 ... 18
  • 제3절 연차별 개발 내용 및 개발 범위 ... 19
  • 제3장 결과 및 사업화 계획 ... 24
  • 제1절 연구개발 최종 결과 ... 24
  • 제2절 연구개발 추진 체계 ... 32
  • 제3절 시장 현황 및 사업화 전망 ... 33
  • 끝페이지 ... 35

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참고문헌 (25)

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