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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국기계연구원 Korea Institute of Machinery and Materials |
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연구책임자 | 정준호 |
참여연구자 | 전소희 , 이재종 , 차국헌 |
보고서유형 | 연차보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2017-01 |
과제시작연도 | 2016 |
주관부처 | 미래창조과학부 Ministry of Science, ICT and Future Planning |
과제관리전문기관 | 한국기계연구원 Korea Institute of Machinery and Materials |
등록번호 | TRKO201700007140 |
과제고유번호 | 1711046637 |
사업명 | 한국기계연구원연구운영비지원 |
DB 구축일자 | 2017-10-12 |
키워드 | 나노전자기계시스템.NEMS.EOT.EAT. |
DOI | https://doi.org/10.23000/TRKO201700007140 |
제1장 2차년도 연구실적
1. 연구개발 목표
o 나노-마이크로 구조체와 양자점·기능성 멤브레인 간 복합화기술개발
■ UV 나노필터어레이와 양자점 다층박막 제작기술
▪ 다층박막공정을 이용한 양자점 복합구조 제작
▪ 나노임프린트공정에 의한 금속 나노필터어레이 제작
■ 압전소재 기반 음향 감응소자 제조기술
▪ EAT 구현을 위한 FEM 해석/설계 기술 최적화
▪ 기능성 멤브레인 기반 음향 감응소자 제조
▪ EAT 기반 음향 특성 시험기술 확보
2. 내용 및 결과
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