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NTIS 바로가기주관연구기관 | 조선대학교 Chosun University |
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연구책임자 | 김경석 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2016-12 |
과제시작연도 | 2015 |
주관부처 | 미래창조과학부 Ministry of Science, ICT and Future Planning |
등록번호 | TRKO201700011514 |
과제고유번호 | 1711030208 |
사업명 | 중견연구자지원 |
DB 구축일자 | 2017-10-14 |
키워드 | 디지털 홀로그래피.서브-마이크로.3차원 형상 측정.입체 영상.비접촉식.표면결함.토모그래피.신뢰성 평가.digital holography.Sub-micron.3-dimensional shape.imaging.non-contact.surface flaw.tomography.MEMS.reliability assessment. |
DOI | https://doi.org/10.23000/TRKO201700011514 |
□ 연구의 목적 및 내용
본 연구는 광응용 계측 기법 중의 하나인 디지털 홀로그래피 시스템을 이용하여 MEMS와 같은 미세한 물체의 구조를 서브-마이크로의 높은 분해능으로 비접촉식 측정하는 방법을 목표로 한다. 이를 바탕으로 해당 기법을 이용한 장치 개발의 가능성을 제시하고자 하며 디지털 홀로그래픽 마이크로스코피 시스템을 구축함에 있어 광학적 이론을 바탕으로 간섭계를 구성하고 제어, 측정 및 해석 프로그램을 개발한다. 다양한 시료를 대상으로 상용화된 측정 장비와 비교 측정하여 연구 결과의 신뢰성을 검증하며 실험실 내의 표준 시
□ Purpose&contents
The goal of this research was to develope a measurement method whose resolution is the sub-micrometer applied to the structure of a small object such as MEMS using digital holography system which is one of the optical measurement methods.
With the results, the possibility o
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