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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국표준과학연구원 Korea Research Institute of Standards and Science |
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연구책임자 | 윤주영 |
참여연구자 | 임인태 , 성대진 , 김진태 , 임종연 , 강상우 , 이주인 , 정낙관 , 서병훈 , 문지훈 , 김동빈 , 유광호 , 최경민 , 유승완 , 김대웅 , 권지혜 , 민관식 , 안종기 , 이승수 , 송제범 , 강고루 , 심섭 , 남민우 , 이보금 , 김태성 , 정진욱 , 정현담 , 유신재 , 표성규 |
보고서유형 | 2단계보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2016-07 |
과제시작연도 | 2015 |
주관부처 | 미래창조과학부 Ministry of Science, ICT and Future Planning |
등록번호 | TRKO201700012209 |
과제고유번호 | 1711032816 |
사업명 | 첨단융합기술개발 |
DB 구축일자 | 2017-10-28 |
키워드 | 우주환경모사.극고진공.고에너지.초고온.레비테이션.진공박막공정.나노입자제어.무오염.평가플랫폼.Space environment simulation.Ultra high vacuum.High energy.Ultra high temperature.Levitation.Thin film vacuum process.Control of nano particle.Contamination free.platform for evaluation. |
DOI | https://doi.org/10.23000/TRKO201700012209 |
우주환경 모사에 필요한 초고온·진공·고에너지 복합 환경 발생 및 제어기술을 확보하고, 이를 기반으로 미래반도체, OLED 장비 및 공정 원천기술 확보
o 우주환경 모사 극고진공 초고온 고에너지 발생 제어기술 확보
o 우주 모사 환경 정밀 제어 기반 신공정 원천기술 개발
o 우주 환경 대응 소재 및 부품에 대한 평가 플랫폼 및 대외지원 시스템 구축
(출처: 보고서 요약서 3p)
Ⅳ. Results for the development
ㅇ Particle characteristics diagnosis system (PCDS) development for real-time nanoparticle analysis
- PCDS optimization
: Structural improvements, Optimizations in the apparatus design and manufacture
: Improvements in measurement SW, and examine the data po
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