초록

우주환경 모사에 필요한 초고온·진공·고에너지 복합 환경 발생 및 제어기술을 확보하고, 이를 기반으로 미래반도체, OLED 장비 및 공정 원천기술 확보
o 우주환경 모사 극고진공 초고온 고에너지 발생 제어기술 확보
o 우주 모사 환경 정밀 제어 기반 신공정 원천기술 개발
o 우주 환경 대응 소재 및 부품에 대한 평가 플랫폼 및 대외지원 시스템 구축
(출처: 보고서 요약서 3p)

Abstract ▼

Ⅳ. Results for the development
ㅇ Particle characteristics diagnosis system (PCDS) development for real-time nanoparticle analysis
- PCDS optimization
: Structural improvements, Optimizations in the apparatus design and manufacture
: Improvements in measurement SW, and examine the data po

Ⅳ. Results for the development
ㅇ Particle characteristics diagnosis system (PCDS) development for real-time nanoparticle analysis
- PCDS optimization
: Structural improvements, Optimizations in the apparatus design and manufacture
: Improvements in measurement SW, and examine the data post processing technique
- Technical improvements of core modules
: Applying numerical analysis to reduce costs on core module development
: Optimizations in the module design
- Process analysis on the actual process at the business area
: Gain reliability of the apparatus performance by measuring actual processes to support PCDS commercialization
: Promote, patented, and planning for the business of particle measurement technologies
ㅇ Low-Pressure Plasma Source Technology
- Low-Pressure Plasma generation technology
- Development of diagnostic method of low-pressure processing plasma
- Secure database and measured plasma at low-pressure plasma source
ㅇ Large-area Downward Deposition Technology
- Development of technology for 1500 mm linear upward/downward evaporation
- Set up of 1700 mm linear upward/downward evaporation source and equipment
- Thickness deviation of thin film for linear direction : ~ 1 %
- Thickness distribution of thin film from one nozzle of source : cos14θ
ㅇ Nanoparticle Synthesis Process
- The development of original techniques for nanoparticle synthesis using plasma environment (Si, GaN)
- The development of lithium ion battery anode material by using silicon nanocrystal
- The development of solution processable blue light-emitting material of OLED based on GaN nanoparticles
ㅇ Building of Evaluation Platform
- Space environment compliance evaluation platform, design and fabrication
- Building of equipment sensing systems and integration software
- Foreign aid of the establishment and the industry of the measurement procedure of the complex environment characterization of the material / parts
(출처: Summary 8p)

목차 Contents

• 표지 ... 1제 출 문 ... 2보고서 요약서 ... 3요 약 문 ... 4SUMMARY ... 7CONTENTS ... 11목차 ... 12제 1 장 연구개발과제의 개요 ... 13 1 절. 연구개발의 목적 ... 13 2 절. 연구개발의 필요성 ... 13제 2 장 국내외 기술개발 현황 ... 20 1 절. 세계적 수준 ... 20 2 절. 국내수준 ... 23 3 절. 국내외연구현황 ... 24 4 절. 선행연구의 내용 및 결과 ... 26 5 절. 현 기술상태의 취약성 ... 28 6 절. 산업체 참여시기 및 방법 ... 30제 3 장 연구개발수행 내용 및 결과 ... 31 1 절. 현장용 나노입자 실시간 분석 장치 개발 및 상용화 ... 31 2 절. 저압 플라즈마기술 실용화를 위한 시제품 개발 및 활용 기술 ... 48 4 절. 나노입자 합성 공정 개발 및 진공 플라즈마 레비테이션 환경 이용 신공정 개발 ... 82 5 절. 우주환경 대응 소재 부품 평가 플랫폼 구축/시험평가 기술 확보 및 이를 활용한 공인 시험검사 지원시작 ... 101제 4 장 목표달성도 및 관련분야에의 기여도 ... 129제 5 장 연구개발결과의 활용계획 ... 131 1 절. 현장용 나노입자 분석 장치 개발 및 상용화 ... 131 2 절. 저압 플라즈마기술 실용화를 위한 시제품 개발 및 활용 기술 ... 133 3 절. 대면적 하향 증착 기술 개발 및 실용화 연구 ... 133 4 절. 나노입자 합성 공정 개발 및 진공 플라즈마 레비테이션 환경 이용 신공정 개발 ... 133 5 절. 우주환경 대응 소재 부품 평가 플랫폼 구축/시험평가 기술 확보 및 이를 활용한 공인 시험 검사 ... 134제 6 장 연구개발과정에서 수집한 해외과학기술정보 ... 135 1 절. 현장용 나노입자 실시간 분석 장치 개발 및 상용화 ... 135 2 절. 저압 플라즈마기술 실용화를 위한 시제품 개발 및 활용 기술 ... 136 3 절. 대면적 하향 증착 기술 개발 및 실용화 연구 ... 136 4 절. 나노입자 합성 공정 개발 및 진공 플라즈마 레비테이션 환경 이용 신공정 개발 ... 136 5 절. 우주환경 대응 소재 부품 평가 플랫폼구축/시험평가 기술 확보 및 이를 활용한 공인 시험검사 ... 137제 7 장 참고문헌 ... 139끝페이지 ... 142