초록 ▼

􎂝 본 종료과제는 3년간 아래 표와 같은 실적 계획 하에 연구 수행되었으며 목표 대비 아주 우수한 성과를 도출하였음. 주요연구 성과는 아래와 같이 계획서 기반으로 3가지로 나누어 제시함.

스트레스 인가 광학적/전기적 동력학적 측정방법 구축 및 투명전자 소자 신뢰성 연구
빛/온도/전압 스트레스 인가할 수 있는 장치를 Spectroscopic Ellipsometry와 소자 측정 시스템에 접목하여 동력학적으로 실시간 광학적 특성과 소자 특성 및 신뢰성 측정 할 수 있도록 측정 방법을 구축하였으며, 이를 활용함.

􎂝 본 종료과제는 3년간 아래 표와 같은 실적 계획 하에 연구 수행되었으며 목표 대비 아주 우수한 성과를 도출하였음. 주요연구 성과는 아래와 같이 계획서 기반으로 3가지로 나누어 제시함.

스트레스 인가 광학적/전기적 동력학적 측정방법 구축 및 투명전자 소자 신뢰성 연구
빛/온도/전압 스트레스 인가할 수 있는 장치를 Spectroscopic Ellipsometry와 소자 측정 시스템에 접목하여 동력학적으로 실시간 광학적 특성과 소자 특성 및 신뢰성 측정 할 수 있도록 측정 방법을 구축하였으며, 이를 활용함.

○ 스트레스 인가하며 실시간 박막의 광학적 특성 변화와 소자의 전기적 특성 변화를 측정할 수 있는 장치와 분석법을 구축하여 스트레스에 따른 소자 특성과 신뢰성 변화의 원인 연구와 제어 연구에 활용함. 스트레스 인가시 투명 전자소자에서 초래되는 변화는 스트레스의 종류에 따라 conduction band의 unoccupied states의 양과 준위의 변화이며, 이것이 소자 특성 및 신뢰성의 변화의 원인이 됨.

스트레스 인가에 따른 투명 전자 소자 신뢰성 기구 및 원인 연구
In 기반 산화물 반도체 소자의 전기적 특성 및 스트레스 인가 신뢰성의 변화를 관찰하고, 소자 신뢰성 변화의 원인이 conduction band 근처 결함 준위와 양의 변화로 인해 초래됨을 연구함.

○ TaInZnO, GaZnSnO, InSiSnO를 적용한 투명 전자 소자 특성과 스트레스 인가 신뢰성의 변화를 conduction band 결함 준위의 변화와 conduction band 모양의 변화와 관련됨을 밝혀냈고, 이를 기반으로 신뢰성 제어 연구의 기반 결과를 도출함.

스트레스 저감형 투명 전자 소자 구현을 위한 신뢰성 제어 연구
스트레스에 따른 신뢰성의 저하를 줄이기 위하여, 이종 원소 도핑, 이온 조사, UV 조사, UV조사와 열처리 병합 등의 방법을 적용하여 신뢰성 제어를 연구함.

○ Ta doping TiO, Al doping AlZnO, Hydrogen 이온 조사 InGaZnO, Oxygen thermo-pressure 인가 TaInZnO, Ni 이온 조사 ZnO, UV 조사 InGaZnO, UV 조사와 열처리 동시 적용 InGaZnO를 연구하여 투명 산화물 박막의 전기적 특성 조절과 투명 산화물 전자소자의 소자 특성 향상, 신뢰성 저하를 개선함.

○ 투명 산화물 전자소자 신뢰성 제어 방법의 핵심은 스트레스 인가 동력학적인 소자 신뢰성의 변화 원인 규명에서 밝혀낸 conduction band 근처 결함 준위를 조절하는 것임. 산화물 박막의 결함 준위 및 양 변화 원인은 금속과 산소 결합 및 산소 공공의 변화와 밀접한 연관성을 가지기 때문에, 본 연구에서는 이러한 산소 공공의 특성을 조절하기 위하여 다양한 방법을 적용하여 신뢰성을 제어함.

(출처 : 연구결과 요약문 3p)

목차 Contents

• 표지 ... 1
• 목차 ... 2
• Ⅰ. 연구결과 요약문 ... 3
• Ⅱ. 연구내용 및 결과 ... 4
• 1. 연구과제의 개요 ... 4
• 2. 국내외 기술개발 현황 ... 4
• 3. 연구수행 내용 및 결과 ... 5
• 4. 목표 달성도 및 관련 분야에의 기여도 ... 6
• 5. 연구결과의 활용계획 ... 6
• 6. 연구과정에서 수집한 해외과학기술정보 ... 7
• Ⅲ. 연구성과 ... 8
• 끝페이지 ... 19