초록 ▼

□ 개발 목적 및 필요성
백 그라인딩 공정에서 나오는 국내의 실리콘 폐기량은 국내 웨이퍼 생산량과 수입 웨이퍼 소비량을 합한 규모의 60-90%가 폐기물로 버려지고 있으며, 이를 재활용하는 기술이 국내에 정착되어 있지 않아 100% 전량 폐기물로 버려져 환경을 오염시키고 희유금속임에도 불구하고 국외로 반출되는 일들이 발생하여 실리콘의 가격을 상승시켜 산업계에 지속적으로 악영향을 주고 있다. 이를 재활용함으로써 환경오염을 줄이고 새로운 이윤창출을 하고자 한다.

□ 연구개발 결과
백그라인딩 승러지를 부유선별법으로

□ 개발 목적 및 필요성
백 그라인딩 공정에서 나오는 국내의 실리콘 폐기량은 국내 웨이퍼 생산량과 수입 웨이퍼 소비량을 합한 규모의 60-90%가 폐기물로 버려지고 있으며, 이를 재활용하는 기술이 국내에 정착되어 있지 않아 100% 전량 폐기물로 버려져 환경을 오염시키고 희유금속임에도 불구하고 국외로 반출되는 일들이 발생하여 실리콘의 가격을 상승시켜 산업계에 지속적으로 악영향을 주고 있다. 이를 재활용함으로써 환경오염을 줄이고 새로운 이윤창출을 하고자 한다.

□ 연구개발 결과
백그라인딩 승러지를 부유선별법으로 불순물을 걸러내는데 성공하였다.
실리콘슬러지를 염산리칭을 통하여 3N grade로 정재 하는데 성공하였다.
캐스팅 공정을 통하여 실리콘 내 금속불순물들을 제거 하였다.
growth를 진행하기 위하여 본 과제에 적합한 grower를 제작 하였다.
제작한 grower를 이용하여 실리콘 잉곳을 제작하였다.
잉곳을 이용하여 재활용 실리콘을 이용한 실리콘 인터포져를 제작하였고, LED방열판을 재활용 실리콘으로 대체 하였다.

□ 성능사양 및 기술개발 수준
본과제에서 발생한 장비는 리칭장비와 그로워 그리고 쏘가 있다. 이들은 pilot 장비로서 50kg/일 의 생산능력을 가지고 있다. 재활욜 실리콘 전용으로 제작되었기 때문에 기존의 제품들과 비교할 수는 없겠지만 사양으로만 확인 할 경우 비슷한 사양을 가진다. 이를 가지고 기존의 캐스팅 그로잉 리칭 등의 공정을 진행 해본 결과 예상했던 결과를 도출 해 낼 수 있었다. 현재 본과제에서 발생한 기술개발 수준은 기존의 국내기술보다는 발전해서 해외의 기술과 비슷하다고 할 수 있다.

□ 활용계획
백그라인딩 실리콘 슬러지를 재활용하게 되면 4N glad의 wafer를 얻을 수 있다. 이를 이용하게 되면 LED의 방열판으로 사용할 수 있고 이는 기존의 제품들과 비교했을 때 비슷하거나 뛰어난 성능을 발휘 할 수 있다. 또한 반도체의 중요부품인 인터포져로 사용 하게 되면 기존의 PCB기판보다 뛰어난 서능을 발휘할 수 있다.

(출처 : 요약서 3p)

Abstract ▼

Ⅳ. Results
○ Development of floating separation process
○ Achievement of chemical selection technologies for 3N grade of silicon.
○ Grower system was fabricated for refining silicon ingot growth.
○ Achievement of 4N grade of Refining Silicon purity.
○ Build of silicon substrate produc

Ⅳ. Results
○ Development of floating separation process
○ Achievement of chemical selection technologies for 3N grade of silicon.
○ Grower system was fabricated for refining silicon ingot growth.
○ Achievement of 4N grade of Refining Silicon purity.
○ Build of silicon substrate produce system and infrastructure.
○ Development of interposer and LED light using recycled and refined silicon process.

(출처 : SUMMARY 9p)

목차 Contents

• 표지 ... 1
• 제 출 문 ... 2
• 요 약 서 ... 3
• 요 약 문 ... 5
• SUMMARY ... 8
• 목차 ... 10
• 제1장 서론 ... 11
• 제1절 연구개발과제의 개요 ... 11
• 1. 연구개발의 목적 및 필요성 ... 11
• 2. 연구개발 대상 기술의 차별성 ... 16
• 제2절 연구개발의 국내외 현황 ... 22
• 제3절 연구개발의 내용 및 범위 ... 26
• 1. 연구개발의 최종목표 ... 26
• 2. 연도별 연구개발 목표 및 평가방법 ... 26
• 3. 연도별 추진체계 ... 31
• 제2장 연구개발 수행내용 및 결과 ... 33
• 제1절 연구개발 결과 및 토의 ... 33
• 제2절 연구개발 결과 요약 ... 134
• 제3장 목표 달성도 및 관련분야 기여도 ... 136
• 1절 연도별 연구개발 목표의 달성도 ... 136
• 2절 관련분야의 기술발전 기여도(환경적 성과 포함) ... 208
• 제4장 연구개발결과의 활용계획 등 ... 211
• 제1절 연구개발 결과의 활용 계획 ... 211
• 부록 ... 214
• 끝페이지 ... 230