초록 ▼

개발 목적 및 필요성
현재 전자산업의 고도성장으로 많은 유해가스가 배출되고 있는 실정이다. 이는 인체에 미치는 영향이 크며, 환경규제의 강화로 인해 기존의 기술보다 우수한 처리 기술이 필요하다고 할 수 있다.

연구개발 결과
Water-cyclone은 기존의 Cyclone이 처리할 수 있는 입자상 물질 이외에 가스상 물질 등을 처리 하는 장치로 개발을 하게 되었다. 입자상 물질 95% 이상 집진 또는 제거가 되며 가스상 물질은 99% 처리가 된다. 또한 수분 배출이 거의 되지 않는 결과를 창출하였다. 이는 기

개발 목적 및 필요성
현재 전자산업의 고도성장으로 많은 유해가스가 배출되고 있는 실정이다. 이는 인체에 미치는 영향이 크며, 환경규제의 강화로 인해 기존의 기술보다 우수한 처리 기술이 필요하다고 할 수 있다.

연구개발 결과
Water-cyclone은 기존의 Cyclone이 처리할 수 있는 입자상 물질 이외에 가스상 물질 등을 처리 하는 장치로 개발을 하게 되었다. 입자상 물질 95% 이상 집진 또는 제거가 되며 가스상 물질은 99% 처리가 된다. 또한 수분 배출이 거의 되지 않는 결과를 창출하였다. 이는 기존의 여러 장치들을 하나의 제품으로 합쳐진 것이기 때문에 더욱 뛰어나다고 할 수 있다.

성능사양 및 기술개발 수준
Water-cyclone 성능의 경우 최대 유량 3,000LPM이상, 최대 입자 집진율 95% 이상, 가스상 물질 99% 이상, 수분 배출 억제 90% 이상 처리가 가능하다. 실제 공정을 바탕으로 연구를 진행하였기 때문에 기술개발 수준이 높다고 할 수 있다.

활용계획
활용 목표로 했던 전자산업공정에 단일 시스템으로 활용이 불가능하여 통합 시스템 완료 후 활용 예정에 있다. 현재 단일 시스템으로 사업화 완료하였다.

(출처 : 요약서 3p)

Abstract

IV. Results
Water-cyclone can treat fine particles, acid gases and moisture emission up to 3,000LPM. Fine particles(1~20pm) removal efficiency is more than 95%, acid gases(HCI, SO₂) removal efficiency is more than 99% and moisture emission suppression is more than 90%.

(출처 : SUMMARY 9p)

목차 Contents

• 표지 ... 1
• 제 출 문 ... 2
• 요 약 서 ... 3
• 요 약 문 ... 5
• SUMMARY ... 8
• 목차 ... 10
• 표목차 ... 12
• 그림목차 ... 13
• 제1장 서론 ... 18
• 제1절 연구개발과제의 개요 ... 20
• 1. 연구개발의 중요성(필요성) ... 20
• 가. 대상 오염물질 ... 20
• 나. 일반적인 저감 및 제거 기술 ... 25
• 다. 본 연구에서 개발하는 저감 및 제거기술 ... 32
• 2. 연구개발 대상 기술의 차별성 ... 34
• 가. 주관연구기관의 관련기술 보유 현황 ... 34
• 제2절 연구개발의 목표 및 추진전략 ... 35
• 1. 연구개발의 목표 ... 35
• 가. 연구개발의 최종목표 ... 35
• 나. 연구개발의 연차별 목표 ... 36
• 2. 연구개발의 추진전략·체계 및 연구수행방법 ... 37
• 가. 연구개발의 추진전략 ... 37
• 나. 연차별 추진체계 ... 38
• 제2장 연구개발 수행내용 및 결과 ... 40
• 제1절 연구개발 결과 및 토의 ... 42
• 1. 1차년도 연구개발 결과 ... 42
• 가. 전자산업 공정상에서 발생하는 오염물질의 특성파악 및 분석 ... 42
• 나. 오염물질 간의 화학 반응 메커니즘 이해 ... 51
• 다. 전자산업 공정상의 기존 원심력 집진장치(cyclone)의 검토 ... 55
• 라. CFD를 활용한 Cyclone의 시스템 최적화 설계 인자 도출 ... 70
• 마. 열전소자 및 Mist eliminator 등을 이용한 테스트 모듈 설계 및 구축 ... 94
• 2. 2차년도 연구개발 결과 ... 96
• 가. 100LPM급 Water-cyclone의 설계 및 제작 ... 96
• 나. 100LPM급 Water-cyclone의 입자상물질 제거 실험 ... 120
• 다. 100LPM급 Water-cyclone의 가스상물질 제거 실험 ... 128
• 라. 100LPM급 Water-cyclone의 수분배출억제 실험 ... 136
• 3. 3차년도 연구개발 내용 ... 137
• 가. 1,000LPM급 Water-cyclone의 개발 및 성능 평가 ... 137
• 나. 1,000LPM급 Water-cyclone의 입자상물질 제거 실험 ... 141
• 다. 1,000LPM급 Water-cyclone의 가스상물질 제거 실험 ... 145
• 라. 1,000LPM급 Water-cyclone의 수분배출억제 실험 ... 149
• 4. 최종 연구개발 결과 ... 152
• 가. 3,000LPM급 Water-cyclone의 개발 ... 152
• 나. 3,000LPM급 Water-cyclone의 입자상물질 제거 실험 ... 155
• 다. 3,000LPM급 Water-cyclone의 가스상물질 제거 실험 ... 159
• 라. 3,000LPM급 Water-cyclone 수분배출억제 실험 ... 163
• 제2절 연구개발 결과 요약 ... 166
• 1. 1차년도 연구개발 결과 ... 166
• 2. 2차년도 연구개발 결과 ... 166
• 3. 3차년도 연구개발 결과 ... 166
• 4. 최종 연구개발 결과 ... 166
• 제3장 목표 달성도 및 관련분야 기여도 ... 168
• 제1절 연도별 연구개발목표의 달성도 ... 170
• 1. 연도별 연구개발목표의 수행내용 및 달성도 ... 170
• 제4장 연구개발결과의 활용계획 ... 172
• 제1절 연구개발 결과의 활용계획 ... 174
• 1. 전자산업공정 활용계획 ... 174
• 가. 전기/전자 및 반도체 산업공정 NF₃가스 처리 ... 174
• 나. LCD 제조공정의 배기가스 처리에 확대 적용 ... 174
• 다. SF6 가스의 회수장치 확대 적용 ... 174
• 끝페이지 ... 175