초록 ▼

중전기기의 절연기체로 사용 중인 지구 온난화가스 고농도 SF₆를 전자빔으로 분해 처리하는 공정을 세계 최초로 개발함. 또한, 분해부산물로 발생되는 HF 및 황화합물을 안전하게 포집할 수 있는 기술을 개발함.
○ 방사선이용 SF₆ 처리 요소기술 개발
- 중전기기로부터 발생하는 SF₆ 처리기술 현황분석
- 전자빔에 의한 SF₆ 처리실험 및 분석시스템 구축
- 전자빔에 의한 SF₆ 처리효율 평가
○ 조사조건에

중전기기의 절연기체로 사용 중인 지구 온난화가스 고농도 SF₆를 전자빔으로 분해 처리하는 공정을 세계 최초로 개발함. 또한, 분해부산물로 발생되는 HF 및 황화합물을 안전하게 포집할 수 있는 기술을 개발함.
○ 방사선이용 SF₆ 처리 요소기술 개발
- 중전기기로부터 발생하는 SF₆ 처리기술 현황분석
- 전자빔에 의한 SF₆ 처리실험 및 분석시스템 구축
- 전자빔에 의한 SF₆ 처리효율 평가
○ 조사조건에 따른 SF₆ 부산물 특성 분석
- 방사선 조사량에 따른 SF₆ 분해부산물 특성 분석
- 첨가제 종류 및 농도에 따른 SF₆ 분해부산물 특성 분석
- SF₆ 농도에 따른 부산물 특성 분석
○ SF₆ 처리효율 및 취급 안전성 향상을 위한 요소기술 개발
- 방사선 조사량에 따른 SF₆ 분해부산물 특성 분석
- 첨가제 종류(SF₆ 단독, 수소, 산소, 수증기 첨가) 및 농도에 따른 부산물 특성 분석
- SF₆ 농도에 따른 부산물 특성(기체상 및 입자상 생성물) 분석
- SF₆ 유해 부산물(HF)의 안전처리 및 취급방안 확립
○ 전자빔 이용 중전기기의 고농도 SF₆ 처리기술 개발
- 전자빔 이용 중전기기의 고농도 SF₆ 처리기술 개발
- SF₆ 유해 부산물 (HF)의 취급 및 안전처리 방안 확보
- 배관점착성 부산물 (황화합물 등) 처리방안 확보
○ 전자빔을 이용한 중전기기 SF₆ 처리 기술 최적화
- 공정 요소기술 최적화를 통한 현장 적용성 확보
- 연속운영 인자 개선 및 장기운전을 통한 경제성 검토 및 확보

(출처 : 보고서 요약서 3p)

Abstract ▼

Purpose & Contents
Developed the world’s first process to decompose high concentration SF6 using an electron beam. Developed technology for safe handling and collecting HF and sulfur compound generated as the decomposition by-products which have filed patent to domestic and overseas.
○ Develo

Purpose & Contents
Developed the world’s first process to decompose high concentration SF6 using an electron beam. Developed technology for safe handling and collecting HF and sulfur compound generated as the decomposition by-products which have filed patent to domestic and overseas.
○ Development of SF₆ treatment techniques using an electron beam
○ Characteristics of by-products by various irradiation conditions
○ Development of key techniques for improvement of the decomposition efficiency and handling safety in SF₆ treatment process
○ Development of a treatment technique of high concentration SF₆ emitted from heavy electric equipments by an electron beam
○ Optimization of a treatment technique of SF₆ emitted from heavy electric equipments by an electron beam

Results
○ 14 paper/ 29 presentation/ 6 patents (application)/ 5 patents (registration)/three transfer of technical know-how

Expected Contribution
○ It would be possible to commercialize decomposition of HPCs (refrigerant gas) and PFCs (semiconductor etching gas) in a short time, based on the research experience and konw-how gained in this study.
○ The joint research is expected to conduct with companies such as KEPCO and Samwon Power Co. (technology licensing organization) who need this technology. Also, based on appied oveseas patent, we will secure foundation for entering china and other overseas markets.

(출처 : SUMMARY 5p)

목차 Contents

• 표지 ... 1
• 제 출 문 ... 2
• 보고서 요약서 ... 3
• 요약문 ... 4
• SUMMARY ... 5
• CONTENTS ... 6
• 목차 ... 8
• 표목차 ... 10
• 그림목차 ... 12
• 제1장 연구개발과제의 개요 ... 18
• 1. 연구개발 목적 ... 18
• 2. 연구개발의 필요성 ... 18
• 3. 연구개발의 범위 ... 19
• 제2장 국내외 기술개발 현황 ... 21
• 제1절 국내외 처리기술 현황분석 ... 21
• 1. SF6 생산 및 산업현황 ... 21
• 2. SF6 발생현황 ... 35
• 3. SF6 처리기술 현황 ... 35
• 4. 현 기술의 취약성 ... 41
• 5. 결론 ... 42
• 6. 향후 전망 ... 42
• 제3장 연구수행 내용 및 결과 ... 44
• 제1절 연구 시스템의 구축 및 구동 ... 44
• 1. 전자빔 조사장치 설계 및 제작 ... 44
• 2. 가스공급 시스템 ... 52
• 3. 분석 시스템 구축 ... 57
• 4. 전자빔가속기에 구동 ... 68
• 제2절 전자빔에 의한 SF6 분해 ... 80
• 1. 저농도 SF6 분해 특성 ... 80
• 2. SF6 분해 및 반응부산물 제어 ... 85
• 3. 고농도 SF6 분해 특성 및 메커니즘 ... 112
• 제3절 분해부산물 및 처리 방안 ... 120
• 1. SF6 분해부산물 취급성 향상을 위한 방안 ... 120
• 2. HF 스크러버 장치 개발 및 최적화 ... 122
• 3. HF 스크러버 이용 염화물 회수 ... 140
• 4. 투과창 부식방지를 위한 재질 선정 ... 157
• 5. 입자상 분해부산물 화학적 특성 분석 ... 165
• 6. 입자상 분해부산물의 처리 방안 ... 210
• 제4절 최적화 공정 설계 및 시운전 ... 228
• 1. 연속운영 인자 개선 및 장기운전 ... 228
• 2. 리싸이클링 공정 설계 및 시운전 ... 241
• 제5절 시장규모 및 감축 가능성 추정 ... 255
• 1. 연구수행 배경 ... 255
• 2. 연구개발 수행내용 ... 255
• 3. 연구내용 및 결과 ... 256
• 4. 결론 ... 258
• 제4장 목표달성도 및 관련분야 기여도 ... 261
• 제5장 연구결과의 활용계획 ... 265
• 제6장 연구과정에서 수집한 해외과학기술정보 ... 266
• 제7장 연구개발결과의 보안등급 ... 267
• 제8장 국가과학기술종합정보시스템에 등록한 연구시설·장비 현황 ... 268
• 제9장 연구개발과제 수행에 따른 연구실 등의 안전조치 이행 실적 ... 269
• 제10장 연구개발과제의 대표적 연구실적 ... 270
• 제11장 기타사항 ... 271
• 제12장 참고문헌 ... 272
• 끝페이지 ... 278