최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기주관연구기관 | 울산과학기술원 Ulsan National Institute of Science and Technology |
---|---|
연구책임자 | 김영천 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2016-11 |
과제시작연도 | 2015 |
주관부처 | 미래창조과학부 Ministry of Science, ICT and Future Planning |
등록번호 | TRKO201800006350 |
과제고유번호 | 1345239559 |
사업명 | 이공학개인기초연구지원 |
DB 구축일자 | 2018-05-12 |
DOI | https://doi.org/10.23000/TRKO201800006350 |
□ 1차년도 연구목표: 구리 박막의 결정 크기, 쌍정밀도 제어 기술 개발
• 펄스파형 전기도금법을 이용한 구리 박막의 합성
- 전기도금 기법에서 전류의 파형을 펄스파형으로 제어하는 기술 기반 구리 박막을 합성하는 공정 기술 개발
- 최적 품질을 구현할 수 있는 도금용액 제조기술, 도금 조건 유지 기술, 전도층 시드 금속막의 형성 기술 개발
- 집중이온조사(FIB) 이미지, 투과 전자현미경(TEM)을 이용한 펄스파형 도금 조건별 미세구조 분석 기술 확보
• 펄스, 전류밀도 등의 공정 조건 제어를 통한 결정
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.