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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)시광 |
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연구책임자 | 김혁중 |
참여연구자 | 최대헌 , 장현미 , 심현섭 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2012-06 |
과제시작연도 | 2010 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
등록번호 | TRKO201800012985 |
과제고유번호 | 1425061184 |
사업명 | 중소기업상용화기술개발 |
DB 구축일자 | 2018-12-01 |
키워드 | 차세대조명장치. |
□ 개발목표
- 계획 : 웨이퍼 검사장비용 LED 조명장치 개발
□ 정량적 목표항목 및 달성도
1. 밝기-두께장비(SR용)
- 계획 : 200Klux이상
- 실적 : 250Klux
2. 밝기-인스펙션
- 계획 : 400Klux이상
- 실적 : 400Klux
3. 밝기- 오버레이
- 계획 : 600Klux이상
- 실적 : 698Klux
4. 방열(온도)성능
- 계획 : 60°C이하
- 실적 : 60°C이하
5. Track장비의 WEE 노광 조명 장
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