보고서 정보 주관연구기관 한국과학기술정보연구원Korea Institute of Science and Technology Information 연구책임자 김경호 보고서유형최종보고서 발행국가대한민국 언어 한국어 발행년월2004-12 등록번호 TRKO201800018931 DB 구축일자 2018-06-23
이 보고서와 함께 이용한 콘텐츠 [보고서] 대면적 디스플레이용 유도결합 플라즈마 건식 식각공정에서플라즈마 해석 기술개발 [보고서] 저온 공정용 고밀도 다중 플라즈마 원 및 공정 기술 개발 [보고서] 반도체 플라즈마 공정장비 지능화 기술 개발 및 실증 [보고서] 유체-입자 결합 다차원 다중 스케일 플라즈마 장비/공정 시뮬레이터 개발 [보고서] 핸드폰용 키패드 기술가치평가
AI-Helper 안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요. ※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.