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NTIS 바로가기주관연구기관 | 하이낸드 |
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연구책임자 | 최규홍 |
참여연구자 | 황승식 , 정현종 , 장지혁 , 방승철 , 최종균 , 우동혁 |
보고서유형 | 연차보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2017-12 |
과제시작연도 | 2017 |
주관부처 | 환경부 Ministry of Environment |
등록번호 | TRKO201800022586 |
과제고유번호 | 1485014847 |
사업명 | 글로벌탑환경기술개발사업 |
DB 구축일자 | 2018-06-16 |
DOI | https://doi.org/10.23000/TRKO201800022586 |
2. 연구개발 목표 및 달성도
○ 최종목표
- 최적의 열제어 시스템 구축
- 열 회수율 85% 이상
- 기존기술 대비 에너지 원단위 30% 이상 절감
- 열 제어 시스템 연속운전성능 확인
- 통합 시스템에 연계된 연속운전성능 평가 : 3개월 이상
○ 연도별 연구개발 목표 및 결과
- 반도체 및 디스플레이 공정상에서 발생하는 부식성 물질 및 입자상 물질 발생 현황 조사
1) 문헌 조사
2) 업계 현황 조사
- 기존 System의 문제점(부식 및 열 회수 확인) 및 개선
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