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NTIS 바로가기주관연구기관 | 인베니아 INVENIA Co., Ltd. |
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연구책임자 | 정석철 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2016-07 |
과제시작연도 | 2015 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
등록번호 | TRKO201800039552 |
과제고유번호 | 1415140290 |
사업명 | 글로벌전문기술개발(주력및신산업) |
DB 구축일자 | 2018-11-03 |
키워드 | White OLED.OLED Source.Re-charging Source.ESC chuck. |
□ 핵심기술
8세대 대면적 OLED 유/무기 증착 기술
8세대 대면적 OLED 물질 재충진 시스템
□ 최종목표
8세대급 (2,200mm×2,500mm) 유기/금속 증착기 개발, 제작 검증
◦ 기판 크기 : 2,200mm×2,500mm (8세대 기판)
◦ 진공도 : 5E-7 torr
◦ 정속 반송 속도 : 최대 100mm/sec
◦ Tact Time : 80sec 이하 (Full Line Build-up으로 환산)
◦ 연속가동시간 : 14일 이상
◦ 유기막 두께
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