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NTIS 바로가기주관연구기관 | 넥서스비 |
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연구책임자 | 최학영 |
보고서유형 | 연차보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2017-09 |
과제시작연도 | 2016 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
과제관리전문기관 | 연구개발특구진흥재단 Innopolis Foundation |
등록번호 | TRKO201800036358 |
과제고유번호 | 1711046541 |
사업명 | 연구개발특구육성 |
DB 구축일자 | 2018-08-04 |
키워드 | 가스 인젝터.상부배기.확산존.에어커튼.정밀 이송 제어. |
DOI | https://doi.org/10.23000/TRKO201800036358 |
1. 연차목표
□ 1차년도 개발목표
- 시/공간 분할 동시 구현 하이브리드 원자층 박막 증착 제어 기술 개발
- 시/공간 분할 가스 인젝터 개발
- 시/공간 분할 원자층 박막 증착 기술을 이용한 Al2O3 박막 증착 조건 확립
2. 개발내용 및 결과
□ 시분할 원자층 증착 장비의 단점이었던 낮은 생산성 문제와, 공간 분할 원자층 증착 장비의 단점이었던 박막 품질 저하를 해결하기 위하여, 초기 Seed Layer 증착 (수nm)을 시분할로 증착한 이후, 공
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