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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국생산기술연구원 Korea Institute of Industrial Technology |
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연구책임자 | 유경훈 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2018-01 |
과제시작연도 | 2017 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
등록번호 | TRKO201800036648 |
과제고유번호 | 1711063146 |
사업명 | 한국생산기술연구원연구운영비지원 |
DB 구축일자 | 2018-08-04 |
키워드 | 반도체.제조장비.가스배기.공정.제어시스템.Semiconduct device.Manufacturing eqipment.Gas exhaust.Process.Control system. |
DOI | https://doi.org/10.23000/TRKO201800036648 |
제 1장 개요
제 1절 연구개발 목표
최종성과 목표
반도체 제조장비의 가스배기부 개선을 위한 장비 및 제어시스템 Technical Support
- 반도체 Waferring장비 Chamber내 Chemical Fume제거 기술확보
- 차압 : 300~600 [Pa]의 가스배기부 장비 개발
- 모터 rpm : 5,000 [rpm] 이하
- 모터 전류 : 1.5 [A] 이하
- 모터 스피드 : 4,500 [min-1]이하
지원성과
기술아이템
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