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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)탑엔지니어링 |
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연구책임자 | 안만호 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2016-10 |
과제시작연도 | 2015 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
등록번호 | TRKO201800039565 |
과제고유번호 | 1711029568 |
사업명 | 전자정보디바이스산업원천기술개발 |
DB 구축일자 | 2018-11-03 |
키워드 | 유기 증착막.제거.세정.마스크.8대세급 글라스.Organic Thin Film Deposited.Removal.Cleaning.Mask Cleaning.8th Generation Class Glass. |
□ 핵심기술
- Mask Oscillation
- NT Unit 공간 활용 : Air Knife & Jet Blower 적용
- 특수 부위 세정 & 건조 Module
□ 최종목표
- 유기, 무기 증착막 제거를 위한 장비 Foot Print(Size)는 16.5m 이내로 개발.
- 유기, 무기 증착막 제거 시간(Process Time)은 2min 이내 구현
-. 종래 Chemical 기준 1 장당 처리시간 : 10 min 처리
- 상기 목표를 달성하기 위한 8세대급 크기 적용의 신규
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