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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)코셈 |
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연구책임자 | 이준희 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2016-10 |
과제시작연도 | 2015 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
등록번호 | TRKO201800039773 |
과제고유번호 | 1415142497 |
사업명 | 소재부품기술개발 |
DB 구축일자 | 2018-11-03 |
키워드 | 공정.실시간.입자.측정.분석.반도체.디스플레이.CVD.Particle.PBMS.PCDS.SEM.EDS. |
핵심기술
· 공정 중 발생하는 입자(Particle)에 대해 실시간으로 크기분포, 형상 관찰, 성분 분석을 할 수 있는 실시간 입자 분석 통합 시스템.
최종목표
· 진공 공정중 발생하는 나노입자의 크기분포(≦5nm), 형상(≦ 20nm) 및 성분(≦133eV)의 통합 실시간 분석 시스템 상용화
· PBMS(Particle Beam Mass Spectrometer) 핵심기술인 Faraday detector 및 입자분포특성 알고리즘 개발
· 공정팹의 장비에서 적용성 및 신뢰성 확보
개발내용
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