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수요연계형 신성장동력장비의 신뢰성 향상기술 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 전자부품연구원
Korean Electronics Technology Institute
연구책임자 정재성
참여연구자 윤양기 , 윤병동 , 유상우 , 한창운 , 김경준 , 이창우 , 이영석 , 손유구 , 심혁수 , 김해동
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2019-12
과제시작연도 2018
주관부처 산업통상자원부
Ministry of Trade, Industry and Energy
등록번호 TRKO202200006302
과제고유번호 1415160419
사업명 신성장동력장비경쟁력강화(R&D)
DB 구축일자 2022-08-13

초록

제1장 제 1 장 서론
제1절 과제의 개요
1. 신성장동력 장비산업 현황
가. 반도체 장비산업 현황
- 세계 반도체 장비시장은 평균 350억불의 시작으로 전공정 장비가 75%를 차지하고, 후공정 장비가 10%, 검사 장비가 10%, 기타가 5% 정도의 시장을 차지함
- 2014년에 전체 반도체 장비 시장은 384억 달러를, 2015년은 10.8%가 증가하여 426억달러를 초과할 것으로 예상됨 (SEMI 추정)
- 미국, 일본, 유럽 3개국 10개 업체가 전체시장의 60% 이상을 차지하는 시장으로 Bi

목차 Contents

  • 표지 ... 1
  • 제 출 문 ... 2
  • 목차 ... 3
  • 제 1 장 서론 ... 5
  • 제1절 과제의 개요 ... 5
  • 1. 신성장동력 장비산업 현황 ... 5
  • 2. 장비 신뢰성 기술 현황 및 문제점 ... 6
  • 3. 장비신뢰성 향상을 위한 해결방안 및 전략 ... 9
  • 4. 개발 기술의 개요 ... 12
  • 제2장 과제 수행의 내용 및 결과 ... 15
  • 제1절 최종 목표 및 평가 방법 ... 15
  • 제2절 단계 목표 및 평가 방법 ... 17
  • 1. 전 공정 장비의 핵심모듈 B10 수명 증가율 (포토공정용 스피너장비) ... 17
  • 2. 조립검사장비의 시스템 수명 증가율(LED 측정 조립장비) ... 19
  • 3. 그린수송장비의 시스템 신뢰성 증가(머시닝 센터) ... 22
  • 4. 표준체계 적용 신뢰도 목표 달성율 ... 24
  • 5. 장비 신뢰성 예측 정확도의 평가 방법 ... 25
  • 6. 신뢰성 향상 표준체계 적용 대상 평가 방법 ... 26
  • 제3절 개발내용 및 개발범위 ... 28
  • 1. 연차별 개발 목표 ... 28
  • 2. 1차년도 개발내용 및 개발 범위 ... 29
  • 3. 2차년도 개발내용 및 개발 범위 ... 30
  • 4. 3차년도 개발내용 및 개발 범위 ... 33
  • 5. 4차년도 개발내용 및 개발 범위 ... 36
  • 6. 5차년도 개발내용 및 개발 범위 ... 41
  • 제4절 수행 결과의 보안등급 ... 50
  • 제5절 유형적 발생품(연구시설, 연구장비 등) 구입 및 관리현황 ... 51
  • 제3장 결과 ... 53
  • 제1절 연구개발 최종 결과 ... 53
  • 1. 연구개발 추진 일정 ... 53
  • 2. 추진 실적 및 달성 현황 ... 58
  • 3. 연구개발 추진 실적 ... 60
  • 4. 기술개발 결과의 유형 및 무형 성과 전체를 기재 ... 420
  • 제2절 연구개발 추진 체계 ... 431
  • 1. 각 기관/기업별 역할 및 추진 내역 ... 431
  • 제3절 고용창출효과 ... 435
  • 제4절 자체보안관리진단표 ... 436
  • 제4장 사업화 계획 ... 447
  • 제1절 사업화 계획 ... 447
  • 1. 생산계획 ... 447
  • 2. 투자계획 ... 449
  • 3. 사업화 전략 ... 450
  • 끝페이지 ... 453

표/그림 (300)

연구자의 다른 보고서 :

참고문헌 (25)

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