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Kafe 바로가기주관연구기관 | (주)디에스테크노 |
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연구책임자 | 박동철 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2017-10 |
과제시작연도 | 2016 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
등록번호 | TRKO201800040105 |
과제고유번호 | 1415148748 |
사업명 | 소재부품기술개발 |
DB 구축일자 | 2018-10-13 |
키워드 | 반도체 및 태양광용 quartz ware.고순도 천연/합성 SiO2.미터급 석영유리 모재.표면고도화.cylinder.tube.boule. |
핵심기술
천연/합성 석영 원료 분말, 미터급 석영 모재(cylinder, tube, boule), 표면고도화 석영 부재 제조 및 품질평가 기술
최종목표
○ 고순도 석영원료 개발
- 천연 SiO2 분말 (입도 100~200um, 금속불순물 50ppm)
- 합성 SiO2 분말 (입도 100~200um, 금속불순물 5ppm)
○ 미터급 석영모재 개발
- Cylinder (Φ300mm-L1000mm, OH 20ppm, 금속불순물 100ppm)
- Tu
핵심기술
천연/합성 석영 원료 분말, 미터급 석영 모재(cylinder, tube, boule), 표면고도화 석영 부재 제조 및 품질평가 기술
최종목표
○ 고순도 석영원료 개발
- 천연 SiO2 분말 (입도 100~200um, 금속불순물 50ppm)
- 합성 SiO2 분말 (입도 100~200um, 금속불순물 5ppm)
○ 미터급 석영모재 개발
- Cylinder (Φ300mm-L1000mm, OH 20ppm, 금속불순물 100ppm)
- Tube (Φ300mm-L2000mm, OH 5ppm, 금속불순물 20ppm)
- Boule (Φ1000mm-H1000mm, OH 170ppm, 금속불순물 20ppm)
○ 표면고도화 석영부재 개발
- 대구경 tube (Φ2500mm, OH 10ppm, 표면 Cu 5ppb)
개발내용 및 결과
○ 물리화학/열화학 정제를 통한 4N5급 SiO2 분말 제조기술 개발
○ 기상 및 액상 합성법을 이용한 5N급 SiO2 분말 제조기술 개발
○ 전기용융법을 이용한 미터급 cylinder 제조기술 개발
○ 플라즈마 원심주조 용융법을 이용한 미터급 tube 제조기술 개발
○ 산수소 멀티버너 용융법을 이용한 미터급 boule 제조기술 개발
○ 표면고도화 및 Φ2500mm급 대구경 tube 제조기술 개발
○ Quartz 모재 개발품을 이용한 응용제품 제작 및 평가
기술개발 배경
○ 국내의 경우 quartz 가공 기술은 세계 최고 수준이지만 원소재인 석영 모재 및 부재는 전량 수입에 의존하고 있는 실정임
○ Quartz ware에 대한 품질향상과 가격경쟁력 확보차원에서 고순도 석영분말, 미터급 모재, 표면고도화 부재 개발은 필수적임
핵심개발 기술의 의의
○ SiO2 정제 및 합성기술 개발을 통한 원료 고순화기술 확보
○ 반도체, 태양광, 디스플레이, 광학 등 첨단 산업으로 활용되는 quartz ware의 원소재 국내 최초 개발을 통한 수입 대체
○ 미터급 석영 모재 및 표면고도화 석영 부재 개발을 통한 고부가가치 창출, quartz ware 품질 및 원가경쟁력 확보
적용 분야
반도체(반도체 확산공정, 에칭공정용), 태양광(실리콘 단결정 제조용, 태양전지용 기판유리), 디스플레이(LCD, PDP, OLED용기판유리), 광학(광섬유, 광학렌즈), 기타(화학강화 유리)
(출처 : 최종보고서 초록 4p)
과제명(ProjectTitle) : | - |
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연구책임자(Manager) : | - |
과제기간(DetailSeriesProject) : | - |
총연구비 (DetailSeriesProject) : | - |
키워드(keyword) : | - |
과제수행기간(LeadAgency) : | - |
연구목표(Goal) : | - |
연구내용(Abstract) : | - |
기대효과(Effect) : | - |
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