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NTIS 바로가기주관연구기관 | 넥서스비 |
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연구책임자 | 최학영 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2018-11 |
과제시작연도 | 2017 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
과제관리전문기관 | 연구개발특구진흥재단 Innopolis Foundation |
등록번호 | TRKO201900015798 |
과제고유번호 | 1711062612 |
사업명 | 연구개발특구육성 |
DB 구축일자 | 2019-09-21 |
키워드 | 가스 인젝터.상부 배기.확산존. |
□ 핵심기술
고속/고생산성 시/공간 분할 하이브리드 원자층 진공 증착 핵시 마듈기술
□ 최종목표
고집적 메모리 및 시스템 IC 반도체 소자용 융·복합 고생산성 원자층 진공 핵심 마듈 및 공정 기술 개발
□ 개발내용 및 결과
□ 시분할 원자층 증착 장비의 단점이었던 낮은 생산성 문제와, 공간분할 원자층 증착 장비의 단점이었던 박막 품질 저하를 해결하기 위하여, 초기 Seed Layer 증착 (수nm)을 시분할로 증착한 이후, 공간 분할 방식을 통하여 생산성 및 품질 저하를 해결하기 위한 시/공
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