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NTIS 바로가기주관연구기관 | 에스테크 |
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연구책임자 | 육영진 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2019-02 |
과제시작연도 | 2018 |
주관부처 | 중소벤처기업부 Ministry of SMEs and Startups |
등록번호 | TRKO201900017221 |
과제고유번호 | 1425128248 |
사업명 | 지역특화산업육성(R&D) |
DB 구축일자 | 2019-11-16 |
키워드 | 결정성장.실리콘잉곳.초크랄스키.태양전지.잉곳성장장치. |
□ 핵심기술
고생산성 및 저원가형 28inch 실리콘 단결정 잉곳 성장로 개발 및 장신 잉곳 성장용 Hotzone / 공정기술 개발
□ 최종목표
PV용 장신(3m이상) 단결정 실리콘 잉곳 성장을 위한 대용량 초크랄스키(Cz) 성장로 개발
□ 개발내용 및 결과
▲ 실리콘 단결정 잉곳 성장로 및 공정기술 개발
○ Cz 방식, 장신 결정성장용 장치 설계
○ 결정성장로 제조
○ 공정 자동화 프로그래밍
○ 대용량 Hotzone 설계
○ 대용량 조건에서 장신 잉곳 성장을 위한
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