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NTIS 바로가기주관연구기관 | 부산대학교 Busan National University |
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연구책임자 | 정해도 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2019-06 |
과제시작연도 | 2018 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
등록번호 | TRKO201900021113 |
과제고유번호 | 1711070910 |
사업명 | 개인기초연구(과기정통부)(R&D) |
DB 구축일자 | 2020-05-09 |
키워드 | 화학적 기계적 연마.슬러리 공급 시스템.슬러리 소비 감소.다중 스프레이.스프레이 노즐.패드 온도제어.그린 스마트 시스템. |
□ 연구개요
CMP 공정에서 기존의 슬러리 공급 시스템은 슬러리(화학용액) 소비량이 많기 때문에 환경에 악영향을 미치게 되기 때문에 개선의 필요성이 있다. 따라서 본 연구에서는 스프레이 노즐을 적용함으로써 소비량을 감소시키고 효율적 연마를 실현할 수 있는 환경 친화적 슬러리 공급 제어 시스템을 구성하려고 한다. 효과적인 슬러리 유동 형성하기에 적합한 슬러리 공급방법 개발을 통해 공정 및 장비, 패드 온도 조절 기술이 결합된 최적 그린 스마트 기술을 국내 개발을 통해 확보함으로써 국가 경쟁력에 긍정적인 영향을 미칠 수 있다. 또
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