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NTIS 바로가기주관연구기관 | 전북대학교 Chonbuk National University |
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연구책임자 | 김대석 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2018-05 |
과제시작연도 | 2017 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
등록번호 | TRKO201900022825 |
과제고유번호 | 1711052415 |
사업명 | 개인기초연구(미래부) |
DB 구축일자 | 2020-07-29 |
키워드 | 타원편광기.나노임프린트.롤투롤.3차원 측정.실시간.단일획득.이중변조.파면복원.나노패턴. |
□ 연구개요
• 본 연구는 현재 산업계에서 적용되는 분광편광측정 solution의 한계를 극복하기 위해 고속 분광편광측정 기술 및 파면복원 기술에 대한 연구로 평면 및 roll 곡면을 포함한 자유 곡면의 대면적 flexible 나노패턴소자 및 나노박막의 실시간 검사 측정을 최종 목표로 함
• 검사기술과 측정/분석기술 간의 벽을 허물 수 있는 광 측정 기술의 breakthrough를 목표로 함. 즉, msec 수준의 측정시간 내에 state-of-art 분광타원계측 수준의 초고감도 달성목표 지향하고 신개념 snapshot
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