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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국해양대학교 Korea Maritime University |
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연구책임자 | 장지호 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2018-11 |
과제시작연도 | 2017 |
주관부처 | 교육부 Ministry of Education |
과제관리전문기관 | 한국연구재단 National Research Foundation of Korea |
등록번호 | TRKO201900025243 |
과제고유번호 | 1345272183 |
사업명 | 개인기초연구(교육부) |
DB 구축일자 | 2020-08-29 |
키워드 | 스크린 인쇄법.발광 소자.스퍼터링 파라미터.열처리.결정성.AlN.CNT.Deep-UV.PSD. |
□ 연구개요
-본 연구는 의료, 환경, 정밀제조공정, 차세대 발광소자 등 다양한 응용분야를 갖고 있는 심자외(Deep-UV) 파장대의 발광 소자 개발에 관한 연구이다.
-표면으로부터 침투 깊이가 짧은 자외광의 특성을 고려하여 면 발광 형태의 소자구조를 착안하였으며, 200nm대 심자외 발광 소자를 구현하기 위하여 6.2eV의 넓은 금지대 폭을 갖는 AlN (Aluminum Nitride)을 발광 층으로 사용할 것을 제안하였다.
□ 연구 목표대비 연구결과
1. CNT 음극제작 공정
- 스크린 인쇄법으
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