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NTIS 바로가기주관연구기관 | 숙명여자대학교 |
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연구책임자 | 김재성 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2019-11 |
과제시작연도 | 2019 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
등록번호 | TRKO202000000400 |
과제고유번호 | 1345303361 |
사업명 | 개인기초연구(교육부)(R&D) |
DB 구축일자 | 2020-05-23 |
키워드 | 이온빔.나노패턴.표면층 포획.나노버블.나노화산.초유체.원자구조.transient mobility.moire pattern. |
□ 연구개요
표면에 만들어진 나노스케일의 구조물은 표면 물성의 변화를 야기하고 그 위에 주기적 나노점 구조의 성장을 위한 template으로 이용될 수 있다. 본 연구는 이온빔을 이용하여 표면에 화학적 변화를 야기하여 주기적 패턴 및 나노구조를 만드는 다양한 방법을 실험하고 그 얼개와 물성을 조사하는 것을 목표로 한다.
□ 연구 목표대비 연구결과
1. Si과 같은 반도체 기판은 이온빔 입사에 의해 표면에 표면 근방에 점성을 갖는 물질의 흐름이 발생한다. 이로 인하여 표면의 healing mechanism이 활
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