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NTIS 바로가기주관연구기관 | 인하대학교 InHa University |
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연구책임자 | 이석현 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2019-11 |
과제시작연도 | 2019 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
등록번호 | TRKO202000002548 |
과제고유번호 | 1345303903 |
사업명 | 개인기초연구(교육부)(R&D) |
DB 구축일자 | 2020-07-29 |
키워드 | 플라즈마.플라즈마 밀도.압전소자.배경 가스.가스 방전.방전 전압.압전현상.랭뮤어 프로브.DC-DC converter. |
□ 연구개요
종래의 플라즈마 밀도 측정은 주로 랭뮤어 프로브를 이용하며 랭뮤어 프로브는 측정 기기인 프로브가 측정 대상인 플라즈마에 직접 접촉하여 플라즈마 밀도를 측정하는 방식으로 이러한 측정 방식은 플라즈마 밀도의 측정 오차를 유발하는 문제점을 지니고 있다. 랭뮤어 프로브 방식의 측정 오차를 해결하기 위해 프로브를 플라즈마의 표면에만 삽입하거나, 구경을 작게 하는 등에 관한 해결책 등이 제시되었지만 랭뮤어 프로브 사용에 따른 근본적인 문제를 해결하지 못하는 대안이었다. 본 연구는 압전소자를 이용하여 플라즈마 밀도를 측정하고자
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