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NTIS 바로가기주관연구기관 | 인하대학교 InHa University |
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연구책임자 | 최리노 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2019-11 |
과제시작연도 | 2019 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
연구관리전문기관 | 한국연구재단 National Research Foundation of Korea |
등록번호 | TRKO202000002665 |
과제고유번호 | 1345301730 |
사업명 | 개인기초연구(교육부)(R&D) |
DB 구축일자 | 2020-07-29 |
키워드 | 저온결정화.용액공정.연소공정.알칼리 금속 도핑.산화물반도체.박막트랜지스터.플랙시블 디스플레이.투명 디스플레이.신뢰성. |
□ 연구개요
디스플레이 산업은 더 얇고 가벼운, 디자인의 제약이 없는 새로운 형태의 디스플레이 시대가 도래할것으로 전망됨. 본 연구과제는 차세대 플렉시블 디스플레이에 적용할 수 있는 저온 산화물 박막트랜지스터에 대한 연구로 용액공정 및 연소공정을 통해 알칼리 금속을 도핑하여 박막의 저온 결정화 기술을 확보하고 개발된 산화물 박막트랜지스터의 성능에 영향을 주는 채널내 및 게이트 스택의 결함을 분석함으로써 물리적 결함과 전기적 결함의 관계를 이해하고 신뢰성을 향상에 관한 연구를 진행하고자 함. 본 과제의 최종 목표는 용액공정을 이
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