초록 ▼

최종목표
1. 정량적 목표 항목
Crack density - 공인 시험기관을 통하여 샘플의 Crack의 유무 확언 개발 목표치 ： Crack 없음
작업온도 - 공인 시험기관 입회를 통한 40V이하에서 도금 진행 여부확인, 개발 목표치 ： 40℃ 이하 도금 진행
도금속도 - 공인 시험기관 입회를 통한 도금 속도 측정 확인 개발 목표치 ： 분당 0.1㎛ 이상
경도 - 공인 시험기관을 통하여 경도 측정
개발 목표치 : 900Hv 이상
내식성 - 공인 시험기관을 통한 내식성 측정
개발 목표

최종목표
1. 정량적 목표 항목
Crack density - 공인 시험기관을 통하여 샘플의 Crack의 유무 확언 개발 목표치 ： Crack 없음
작업온도 - 공인 시험기관 입회를 통한 40V이하에서 도금 진행 여부확인, 개발 목표치 ： 40℃ 이하 도금 진행
도금속도 - 공인 시험기관 입회를 통한 도금 속도 측정 확인 개발 목표치 ： 분당 0.1㎛ 이상
경도 - 공인 시험기관을 통하여 경도 측정
개발 목표치 : 900Hv 이상
내식성 - 공인 시험기관을 통한 내식성 측정
개발 목표치 ： 72hr 이상 일 때 시료 변화 없음
내 마모성 - 공인 시험기관을 통한 내 마모성 측정
개발 목표치 ： 500 cycles 후 무게변화 없음
6가 크롬 분석 - 공인 시험기관을 통한 6가 크롬 검출 유무 확인
개발 목표치 ： 6가크롬 미검출(음성)
내구성 - 공인 시험기관을 통한 내구성 측정
개발 목표치 : 70HRC 이상

2. 정량목표를 위한 도금액 각 기관별 연구 목표
-친환경 3가 크롬도금액 첨가액 개발 및 반도체 가공 부품 소재 적용
-신뢰성 평가를 위한 도금 성능 향상 메커니즘 규명
-Crack Free 크롬 도금을 위한 최적화된 전기화학적 조건 도출

3. 현장적용 평가
-도금공정 관리 및 제품의 성능 향상
-도금 조건의 최적화 및 항목 결정을 통한 현장 적용 평가

개발 내용 및 결과
1. 정량적 목표치 달성 완료
-Crack density, 작업온도, 도금속도, 경도, 내식성, 내마모성, 6가크롬분석, 내구성
(정량적 목표 8가지 항목에 대한 공인 성적서)

2. 기관별 개발내용
(1) 주관기관 ： (주)에이엔씨코리아
3가 크름 도금 첨가액 조성 최적화를 통한 유효 도금 건류 범위 확장
3가 크롬 도금 첨가액의 안정화 기술 개발
3가 크롬 도금액 첨가제 및 도금 공정 조건을 활용한 반도체 가공 부품
소재의 Crack Free 3가 도금 실현

(2) 참여기관 : 인하대학교
3가 크롬 도금액 첨가제의 신뢰성 평가
3가 크롬 도금의 견기 화학적 조건 최적화를 통한 Crack Free 도금실현 도금 메커니즘 규명 완료

(3) 참여기관 ： 에이쓰리캠(주)
도금공정 관리 및 평가의 규격화를 통해 제품의 성능향상
양극 설계 및 도금 시 필요한 물리 화학적 조건 규격화 완료
부품소재 테스트, 현장 적용 평가 완료

기술개발 배경
현재 의 반도체 및 반도체 가공용 공구는 Ni-Pd 합금 도금액을 사용 중이고, 원가 절감 부분에 대체제로 6가 크롬 도금액을 개발하혔다.
그러나 지속적인 환경 규제를 통해 기존의 크롬산과 황산을 사용하던 6가 크롬 도금액에서 환경 친화적인 3가 크롬도금의 변화에 대응하기 위한 도금액의 국산화와 차별화된 도금 기술이 필요하게 되었다.

반도체 가공용 공구(CMP PAD)는 부품소재의 하나로, 웨이퍼 표면을 평탄화 하는 과정에서 생기는 불순물을 제거해주고 슬러리를 일정하게 나누어 주는 역할을 하는 꼭 필요한 부품 중 하나이다. 그러나 현재 시장에는 3가 크롬도금액은 있으나, Crack Free의 재현이 떨어지고, 현재는 친환경적인 도금액의 수요 증가로 인하여 도금 조건에 걸맞는 도금액이 필요하게 되었다.

핵삼개발 기술의 의의
3가 크롬 도금액을 신규개발 하였으나, 이미 3가 크롬 도금액은 시중에서 여럿 사용중에 있는 상태. 이에 따라 표면처리 강국인 일본에서도 구현하지 못한 공정기술인 Crack Free lum 이상 도금을 구현하였고 약품과 함께 세계시장 판로에도 문제가 없을 것임.

적용 분야
요구 특성중 하나인 윤활성을 제외한 사업분야인 금형, Roll 자동차, 중장비, 항공기, 에너지, 군수, 해양구조물, 악세서리, 공구류 산업에 전반적으로 적용 가능함.

(출처 : 초록 4p)

목차 Contents

• 표지 ... 1
• 제출문 ... 2
• 최종보고서 초록 ... 3
• 기술개발사업 주요 연구성과 ... 10
• 목차 ... 13
• 제 1 장 서론 ... 16
• 제 1 절 과제의 개요 ... 16
• 제 2 장 과제 수행의 내용 및 결과(기술개발 내용 및 방법) ... 17
• 제 1 절 최종 목표 및 평가 방법 ... 17
• 1. 주관기관: (주)에이엔씨코리아 ... 17
• 2. 참여기관: 인하대학교 ... 18
• 3. 참여기관: 에이쓰리켐(주) ... 18
• 제 2 절 단계 목표 및 평가 방법 ... 18
• 1. 주관기관: (주)에이엔씨코리아 ... 18
• 2. 참여기관: 인하대학교 ... 19
• 3. 참여기관: 에이쓰리켐 ... 21
• 제 3 절 연차별 개발 내용 및 개발 범위 ... 22
• 1. 3가 크롬 도금 상용 도금액 분석 ... 22
• 2. 상용 도금액 대체 첨가물 조사 및 선정 ... 22
• 3. 3가 크롬 도금 첨가액 조성 최적화를 통한 유효 도금 전류 범위 확장 ... 22
• 4. 3가 크롬 도금 첨가액의 안정화 기술 개발 ... 26
• 5. 최적 3가 크롬 도금액의 제조 및 평가 ... 28
• 6. 최적화된 3가 크롬 도금액 첨가제 및 도금공정 조건을 활용한 반도체 가공 부품 소재의 Crack free 3가 크롬 도금 실현 ... 29
• 7. Cr3+ 도금 메커니즘 ... 35
• 8. Olation 반응 ... 35
• 9. 다양한 도금방법의 적용 ... 37
• 10. 크랙 형성 원인 ... 38
• 11. PR 도금의 효용성 ... 39
• 12. 전기화학적 변수 외 변수 최적화 ... 42
• 13. 주요 성능평가 표준방법 조사 및 평가 항목 결정 ... 47
• 14. 성능평가 모의실험진행 ... 48
• 15. 문제점 확인 및 개선 사항 도출 ... 50
• 16. 최적화된 도금 조건 확립 ... 50
• 17. 부품소재 성능 테스트 및 현장 적용평가 ... 51
• 제 4 절 수행 결과의 보안등급 ... 53
• 제 5 절 유형적 발생품 (구입 및 관리 현황) ... 53
• 제 3 장 결과 및 사업화 계획 ... 54
• 제 1 절 연구개발 최종 결과 ... 54
• 연구개발 추진일정 및 실적 ... 54
• 기술개발 결과의 유형 및 무형 성과 전체를 기재 ... 55
• 제 2 절 연구개발 추진 체계 ... 56
• 각 기관/기업별 역할 및 추진 내역 ... 56
• 제 3 절 시장 현황 및 사업화 전망(당초 기술개발 시작 시점의 조사와 변화된 것 위주로 기술) ... 57
• 1. 국내/외 시장현황 ... 57
• 2. 목표시장의 경쟁상황 ... 58
• 3. 양산 및 판로 확보 계획 ... 59
• 4. 마케팅 전략 ... 60
• 5. 해외 마케팅 전략 및 제품 경쟁력 ... 60
• 제 4 절 고용 창출 효과 ... 62
• 제 5 절 자체보안관리진단표 ... 63
• 끝페이지 ... 63