초록 ▼

□ 연구개요
본 연구의 최종목표는 나노재료의 광열화학반응에 의한 박막소자 제작기술에 대한 연구결과를 토대로 현재 산업계에서 널리 사용하고 있는 포토리소그래피 또는 진공증착 공정을 대체할 수 있을 뿐만 아니라, 기존에 연구되고 있는 고가의 나노재료기반 용액공정의 한계를 극복하고, 실제 산업계에서 요구하는 생산성을 만족하는 박막소자 디바이스 제조공정 및 장비 그리고 시스템의 고생산성, 연속성 및 대면적 기술을 확보하고 그 응용성을 확인하는 것으로서, 다음과 같은 두 가지 세부 목표로 구성된다. (1) 고생산성, 대면적 및 저가 인

□ 연구개요
본 연구의 최종목표는 나노재료의 광열화학반응에 의한 박막소자 제작기술에 대한 연구결과를 토대로 현재 산업계에서 널리 사용하고 있는 포토리소그래피 또는 진공증착 공정을 대체할 수 있을 뿐만 아니라, 기존에 연구되고 있는 고가의 나노재료기반 용액공정의 한계를 극복하고, 실제 산업계에서 요구하는 생산성을 만족하는 박막소자 디바이스 제조공정 및 장비 그리고 시스템의 고생산성, 연속성 및 대면적 기술을 확보하고 그 응용성을 확인하는 것으로서, 다음과 같은 두 가지 세부 목표로 구성된다. (1) 고생산성, 대면적 및 저가 인쇄가능한 박막소자 공정기술, 장비 및 제조시스템을 개발한다. (2) 광열화학반응에 의한 박막소자 공정기술을 이용하여 다양한 박막소자 디바이스를 고안/설계/제작하고, 공정을 확립하고 최적화 한 후, 고품질의 박막소자 디바이스를 제작하여 성능 및 신뢰성을 평가하고, 피드백 하여 공정기술 및 장비, 고생산성 제조시스템을 최적화한다.

□ 연구 목표대비 연구결과
(1) 고생산성, 대면적 및 저가 인쇄가능한 박막소자 공정기술, 장비 및 제조시스템 개발
광열화학반응을 이용한 박막소자 공정기술을 토대로 박막소자 디바이스 제조 생산성을 산업계가 요구하는 수준으로 끌어올리기 위하여 고생산성, 연속성 및 대면적 박막소자 공정기술, 장비 및 제조시스템의 생산성을 향상시킬 수 있는 다양한 방법에 대해 연구하였다. 1차 년도에는 광열화학반응의 생산성을 극대화 할 수 있는 리페어 및 재활용 공정기술 및 초고속, 고품질 저가의 구리 미세전극 패터닝 공정기술, 2차 년도에는 대면적 용액 공정에 적합한 새로운 초정밀, 초박막 코팅 시스템 및 장비, 3차 년도에는 광열화학반응을 이용한 나노미터급 초미세 패턴 형성 방법에 대해 연구하여 이를 바탕으로 고생산성, 연속성 및 저가의 대면적 인쇄가능한 박막소자 디바이스 제조시스템을 구축하였다.
(2) 박막소자 디바이스 고안/설계/제작과 성능, 신뢰성 평가 및 공정 최적화
광열화학반응에 의한 박막소자 공정기술 및 시스템을 이용하여 플렉시블 OLED, 플렉시블 슈퍼커패시터, TFT와 같은 다양한 박막소자 디바이스를 고안/설계/제작하고, 공정을 확립하였다. 제작된 고품질의 박막소자 디바이스의 성능 및 신뢰성을 평가하고, 피드백 하여 공정기술 및 장비, 고생산성 제조시스템을 최적화하였다. 박막소자 디바이스들에 대해서 소자성능 뿐만 아니라 수명, 유연성 테스트 등을 통해서 신뢰성을 평가하고 산업화 가능성을 검토하였다.
- 은, 구리 미세 패터닝 공정기술을 통한 단층 터치스크린패널 제작과 성능 및 내구성 평가
- 산화 구리의 환원 반응을 통한 단일공정 박막트랜지스터 및 전기 히터 제작
- 전용액공정으로 제작된 대면적 OLED 전자소자의 성능 및 발광 균일도 평가
- 레이저를 이용한 나노다공성 은 전극 기반 마이크로 슈퍼커패시터 개발과 성능 및 내구성 평가

□ 연구개발결과의 중요성
본 연구 과제를 통하여 고가의 진공공정이나 포토리소그래피공정 없이 광열화학반응을 이용하여 고부가가치를 갖으며 공정이 최적화된 OLED, 에너지저장소자, TFT와 같은 차세대 박막 디바이스를 제조할 수 있는 고생산성, 연속성, 대면적 및 높은 신뢰성의 장비 및 제조시스템이 구축될 것으로 기대된다. 이는 우리나라 IT산업계의 생산성 향상과 원가절감을 통한 경쟁력 강화에 기여할 수 있다고 예상되며, 향후 관련 중소기업으로의 기술이전을 비롯하여 사업화 등 다양한 형태의 활용계획이 있을 수 있을 것이다. 또한 IT분야뿐만 아니라 다가오는 초고령 사회에서 미래 먹거리를 창출 할 수 있는 모바일 헬스케어 산업에 필요한 디바이스에도 응용과 활용이 가능하다.

(출처 : 연구결과 요약문 2p)

목차 Contents

• 표지 ... 1
• 연구결과 요약문 ... 2
• 목차 ... 3
• 1. 연구개발과제의 개요 ... 4
• (1) 고생산성, 대면적 및 저가 인쇄가능한 박막소자 공정기술 및 장비 개발 ... 4
• (2) 박막소자 디바이스 고안/설계/제작과 성능, 신뢰성 평가 및 공정 최적화 ... 4
• 2. 연구수행내용 및 연구결과 ... 4
• 3. 연구개발결과의 중요성 ... 19
• 4. 참고문헌 ... 20
• 5. 연구성과 ... 21
• 대표적 연구실적 ... 28
• 끝페이지 ... 43