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NTIS 바로가기주관연구기관 | 성균관대학교 SungKyunKwan University |
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연구책임자 | 안종렬 |
보고서유형 | 1단계보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2017-10 |
과제시작연도 | 2016 |
주관부처 | 미래창조과학부 Ministry of Science, ICT and Future Planning |
등록번호 | TRKO202000007256 |
과제고유번호 | 1711045275 |
사업명 | 원자력연구기반확충사업 |
DB 구축일자 | 2020-09-26 |
키워드 | 중성자.반도체.검출기.Neutron.Semiconductor.Detector. |
Ⅳ. 연구개발결과
- 반도체형 중성자 검출기 관련 특허 및 논문 발표 (국내 특허 출원 3건, SCI 논문 발표 1건)
- 반도체형 중성자 검출기의 소재 합성/소자 제작/특성 분석
- 고온 가열 장치(1600 ℃)의 SiC 시료에 대한 성능 테스트
- h-BN 박막 성장에 최적화된 CVD 장비 추가 제작
(출처 : 요약문 4p)
Ⅳ. Development Results
- Three patents and one SCI paper
- Fabrication of materials of semiconductor neutron detectors and characterization of their temperature dependence.
- High temperature furnace that was optimized as a furnace for a SiC wafer.
- Development of a new CVD chamber for
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