최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국과학기술원 Korea Advanced Institute of Science and Technology |
---|---|
연구책임자 | 윤준보 |
참여연구자 | 김수본 , 이용복 , 민현우 |
보고서유형 | 연차보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2020-01 |
과제시작연도 | 2019 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
등록번호 | TRKO202000008472 |
과제고유번호 | 1711101822 |
사업명 | 연구산업육성(R&D) |
DB 구축일자 | 2020-07-29 |
키워드 | 반도체 테스트.MEMS 릴레이.마이크로 스위치.신뢰성.고전류.Semiconductor test.MEMS relay.Micro switch.Reliability.High current. |
1. 연구 개요
• 반도체 소자를 측정하는 테스팅 장비에는 신호를 전달 또는 차단하는 스위치가 사용되고 있음.
• 반도체 측정 장비에 사용되는 스위치의 요구점으로는 신호의 왜곡이 없어야한다는 점과 반도체의 집적화로 인해 소형화가 이루어져야 함.
• 위와 같이 요구되어야 할 점에 있어 마이크로 전자기계시스템 (MEMS) 방식의 릴레이가 차세대 핵심 스위칭 소자로써 주목받고 있음.
• 회사 측에서는 개발된 MEMS 릴레이를 통해 사업화 단계 착수를 위한 생산 라인 건설을 완료한 상태임
• 본 연구실의 최종 목
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.