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NTIS 바로가기주관연구기관 | 하이낸드 |
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연구책임자 | 최규홍 |
보고서유형 | 1단계보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2018-10 |
과제시작연도 | 2018 |
주관부처 | 환경부 Ministry of Environment |
등록번호 | TRKO202100000128 |
과제고유번호 | 1485015350 |
사업명 | 글로벌탑환경기술개발사업(R&D) |
DB 구축일자 | 2021-05-08 |
1. 연구개발과제의 개요
1-1. 연구개발 목적
현재 반도체 및 디스플레이 기술은 지속적인 개발로 인해 공정 기술 난이도가 증가하고 있으며, 공정 기술의 미세화에 따라 온실가스 사용량도 지속적으로 증가하고 있다. 이에 스크러버의 열 에너지를 이용하여 온실가스를 저감하고 있으며, 스크러버 사용에 따라 추가적인 에너지(Fuel, Electric Energy) 사용을 요구하고 있다. 한편 스크러버는 에너지 사용 증가함과 함께 2차 부산물(NOx) 발생 문제도 심각하게 대두되고 있다.
반도체 공정에서 사용되는
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