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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국해양대학교 Korea Maritime University |
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연구책임자 | 김홍승 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2015-12 |
과제시작연도 | 2014 |
주관부처 | 교육부 Ministry of Education |
과제관리전문기관 | 한국연구재단 National Research Foundation of Korea |
등록번호 | TRKO202100003895 |
과제고유번호 | 1345222471 |
사업명 | 일반연구자지원 |
DB 구축일자 | 2021-07-03 |
본 연구에서는 ZnO/ZnMgO 이종접합 구조 연구를 위하여 펄스 레이저 증착법(PLD)과 Co-스퍼터링을 이용하여 MgxZn1-xO 박막을 성장 시켰다. PLD의 산소분압 및 성장 온도의 변화에 따른 박막 내의 Mg 조성비 조절 및 MgxZn1-xO 박막의 구조적 광학적 특성을 고찰하고자 하였으며, Co-스퍼터의 경우 ZnO와 Zn0.7Mg0.3O의 타겟을 이용하여 스퍼터 파워를 조정하여 최소 조건의 상 분리 현상 지점을 찾아 hetero 및 Quasi
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