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Kafe 바로가기주관연구기관 | 엘지이노텍(주) |
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연구책임자 | 김병숙 |
참여연구자 | 유영철 , 황광택 , 박상환 , 류도형 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2019-05 |
과제시작연도 | 2019 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
등록번호 | TRKO202200006191 |
과제고유번호 | 1415161686 |
사업명 | 소재부품기술개발(R&D) |
DB 구축일자 | 2022-08-13 |
키워드 | 초고순도 실리카.초고순도 테트라 에틸 실리케이트.초고순도 탄소.초고순도 탄화규소 분말.합성.정제.입자 성장. |
3. 개발결과 요약
□ 최종목표
○ 초고순도 SiC 출발원료
- Si 계 원료 순도: 6N5(석경에이티)
- C 계 원료 순도: 6N5(한국세라믹기술원)
○ 초고순도 SiC 분말(엘지이노텍/한국과학기술연구원)
- 순도: 6N5
- 평균 입도(D50): 0.4~5㎛, >100㎛
- 입도 분포(D90/D10): < 5
○ 초고순도 SiC 후처리 공정 기술 개발
- SiC 후처리 입자성장(D50): >100
3. 개발결과 요약
□ 최종목표
○ 초고순도 SiC 출발원료
- Si 계 원료 순도: 6N5(석경에이티)
- C 계 원료 순도: 6N5(한국세라믹기술원)
○ 초고순도 SiC 분말(엘지이노텍/한국과학기술연구원)
- 순도: 6N5
- 평균 입도(D50): 0.4~5㎛, >100㎛
- 입도 분포(D90/D10): < 5
○ 초고순도 SiC 후처리 공정 기술 개발
- SiC 후처리 입자성장(D50): >100㎛ (서울과학기술대)
□ 개발내용 및 결과
○ 초고순도 Si 계 원료: 분별증류를 통한 7N급 초고순도 TEOS 합성 및 이의 산처리 공정 적용을 통한 6N8급 고순도 Silica 합성
○ 초고순도 C 계 원료: 기상/액상 carbon 원료의 플라즈마 열분해를 통해 6N8급 초고순도 C계 분말 합성
○ 초고순도 SiC 분말(미립): 1,700℃ 전후 C계 및 Si계 원료의 열탄소환원 반응을 통해 6N3급 초고순도 SiC 분말 합성
○ 초고순도 SiC 분말(조립): 액상원료의 적용 및 기존 열탄소환원 공정의 수정된 반응 유도를 통해 6N5급 초고순도 조립 SiC 분말 합성
○ SiC 분말 입성장 기술: 고순도 미립 SiC 분말의 고온 입성장 거동 평가 및 이를 통해 > 200㎛조립 SiC 분말 제조
□ 기술개발 배경
○ 초고순도 고품위 SiC 분말 기술은 국가 성장 동력 산업인 반도체 산업, 디스플레이 산업 및 그린카/태양광 발전 등과 같은 미래 녹색산업용 초고순도 SiC 소재 개발을 위하여 요구되는 기초 핵심 물질로써 초고순도 고품위 SiC 분말 기술의 보유 여부가 미래에 전개될 초고순도 SiC 소재의 세계 시장에서 기술 경쟁력을 결정할 수 있기 때문에 초고순도 고품위 SiC 분말 기술 개발이 중요함
○ 초고순도 고품위 SiC 분말 기술 개발에 의한 첨단 원료 산업의 창출은 기초 핵심 출발 물질에서 첨단 소재 및 제품까지 일관 산업으로 연결되는 기술 선진국형 첨단 산업을 국내에서 만들 수 있는 기반을 제공하는 중요한 역할을 할 수 있음
□ 핵심개발 기술의 의의
○ 초고순도 SiC 소재는 미래 산업의 기술 경쟁력을 결정하는 핵심 소재로써 기술 선진국에서는 해외로의 기술 이전은 물론 수출 통제품으로 관리되어 제품 판매도 이루어지고 있지 않은 국가 전략 재료
□ 적용 분야
○ 반도체 공정용 초고순도 부품: 고온반응관, boat류, edge ring, focus ring, susceptor 등(초고순도 쿼츠 부품 대체)
○ LED 공정용 초고순도 부품: susceptor 등(CVD SiC coated graphite 부품 대체)
○ 에너지 반도체 소자용 SiC 단결정(저효율 Si 단결정 기판 대체)
○ LED 소자용 기판: 에피 성장용 단결정 기판(사파이어기판 대체)
○ 기타분야: 핵융합 반응로용 blanket, SiC 방열판, IT소자(센서 등), Si웨이퍼용 초고순도 연마재, 우주 항공 부품(Space mirror 등)
(출처 : 기술개발사업 최종보고서 초록 4p)
과제명(ProjectTitle) : | - |
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연구책임자(Manager) : | - |
과제기간(DetailSeriesProject) : | - |
총연구비 (DetailSeriesProject) : | - |
키워드(keyword) : | - |
과제수행기간(LeadAgency) : | - |
연구목표(Goal) : | - |
연구내용(Abstract) : | - |
기대효과(Effect) : | - |
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