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NTIS 바로가기주관연구기관 | 이에스티 |
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연구책임자 | 이호영 |
참여연구자 | 안명찬 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2019-07 |
과제시작연도 | 2018 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
등록번호 | TRKO202100006864 |
과제고유번호 | 1711075709 |
사업명 | ICT유망기술개발지원(R&D) |
DB 구축일자 | 2021-07-17 |
키워드 | 정전척.유기발광다이오드.척킹력.인쇄공정.Electro static chuck.OLED.Chucking force.Screen print. |
최종목표
[사업목표] 세계최초 6세대 Half급(1500*900mm) 스크린 프린팅 세라믹 정전척 개발
o 스크린 프린팅 공정을 이용한 OLED용 세라믹 정전척 제조 공정기술개발
- 고내구성 및 고치밀도의 세라믹 정전척 세라믹 페이스트 조성 개발
- 세라믹 정전척 제조 시스템에서의 코팅층 두께 제어 생산 공정 개발
- 스크린 프린팅 공정개발을 통한 금속 전극 및 Emboss 패턴 형성 개발
- 치밀화 공정을 위한 세라믹 소재의 열처리 온도 및 사이클 공정 최적화 개발
- 기존 50% 이상 원가절
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