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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국생산기술연구원 Korea Institute of Industrial Technology |
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연구책임자 | 유경훈 |
참여연구자 | 황준영 , 이상호 , 조병철 , 황태호 , 한승헌 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2020-12 |
과제시작연도 | 2020 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
과제관리전문기관 | 한국생산기술연구원 Korea Institute of Industrial Technology |
등록번호 | TRKO202100008103 |
과제고유번호 | 1711124897 |
사업명 | 한국생산기술연구원연구운영비지원(R&D)(주요사업비) |
DB 구축일자 | 2021-08-07 |
키워드 | 공간분할 ALD공정.고생산성 공정챔버.하부챔버 회전.자성유체씰.마이크로갭 공정공간.Spatial ALD process.High-productivity process chamber.Lower chamber rotation.Ferrofluid seal.Micro-gap process space. |
□기업의 애로사항
○ 하부챔버 회전에 의한 공정 진공도 확보의 애로 (1차년도 완결, 2019년)
○ 웨이퍼 공정공간의 마이크로갭(micro-gap) 확보의 애로 (2차년도, 2020년)
□지원(해결) 내용
○ 공정공간의 마이크로갭 확보를 위한 3축 수직위치제어 및 회전제어 구동모듈의 3D 모델링 및 세부설계, 제작기술 지원
○ 공정공간 마이크로갭 제어를 위한 공정챔버 자세제어 모듈, GUI(Graphic User Interface)를 겸비한 100 mm 웨이퍼 기반 대구경 공간분할 semi-bat
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