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| 주관연구기관 | 한국생산기술연구원 Korea Institute of Industrial Technology |
|---|---|
| 연구책임자 | 김은미 |
| 참여연구자 | 허기석 , 김광영 , 김수진 , 김영훈 , 박철영 , 정현택 , 김기풍 , 박형윤 , 최용삼 , 김현우 , 심현선 , 최세원 , 김지웅 , 심재삼 |
| 보고서유형 | 최종보고서 |
| 발행국가 | 대한민국 |
| 언어 | 한국어 |
| 발행년월 | 2019-11 |
| 과제시작연도 | 2019 |
| 주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
| 사업 관리 기관 | 한국생산기술연구원 Korea Institute of Industrial Technology |
| 등록번호 | TRKO202100008143 |
| 과제고유번호 | 1711100899 |
| 사업명 | 한국생산기술연구원연구운영비지원(R&D)(주요사업비) |
| DB 구축일자 | 2021-08-07 |
| 키워드 | 건식 식각.실리콘웨이퍼.퀄츠웨이퍼.렌즈.포토공정.마이크로엘이디.유연디스플레이.유기발광소자.투명전극.전자주입층.유기 전자 재료.플라즈마화학기상증착법.가스차단막.수분투습도측정.자동차 윈도우.파워스위치.집속이온빔.밀링.주사전자현미경.광트랜시버.광통신모듈.광송수신기.광통신망.5세대 이동통신.마이크로 엘이디.집속이온빔장비.전자주사현미경.동박.2차전지.Dry etching.Silicon wafer.Quartz wafer.Lens.Photo lithography.Micro LED.Flexible display.OLED(Organic light emitting diodes).Transparent electrode.OLED.EIL.Organic Electronic Material.PECVD.gas barrier film.WVTR.Vehicle power window.Power switch.FIB.milling.SEM.Optical transceiver.Optical fiber.5G.400Gbps.Grating.Optical fiber Phase modulator.Micro-LED.FIM.Copper foil.secondary(rechargeable)battery. |
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