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NTIS 바로가기주관연구기관 | 조선대학교 Chosun University |
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연구책임자 | 고필주 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2020-06 |
과제시작연도 | 2020 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
등록번호 | TRKO202100012403 |
과제고유번호 | 1345317267 |
사업명 | 이공학학술연구기반구축(R&D) |
DB 구축일자 | 2021-08-14 |
키워드 | 2차원 소재.헤테로 구조.수직형 소자.유연성 소자.전이금속 칼코겐 화합물.광전소자. |
□연구개요
2차원 층상구조를 가진 반도체는 기존 반도체 소자의 한계를 뛰어 넘는 원자단위의 소자구조를 갖는 초박막 디바이스의 응용과 수직형 및 플렉시블 광전 소자 및 에너지 변환 소자로서 가능성을 가지고 있다. 본 연구의 중·장기적 목표는 2차원 소재로만 구성된 플렉시블 헤테로구조 (Van Der Waals Hetero _sturctures_Active Layer, Dielectric layer, Electrode)를 갖는 소자 제작의 필수요소인 나노패턴 기술을 위한 전극 증착장비(Electron-beam Lithography
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