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NTIS 바로가기주관연구기관 | 포항공과대학교 Pohang University of Science and Technology |
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연구책임자 | 김종현 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2020-06 |
과제시작연도 | 2020 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
과제관리전문기관 | 한국연구재단 National Research Foundation of Korea |
등록번호 | TRKO202100013686 |
과제고유번호 | 1345317689 |
사업명 | 개인기초연구(교육부)(R&D) |
DB 구축일자 | 2021-09-11 |
키워드 | 정밀패턴 제작기술.곡면 및 비선형구조.엑스선 리소그래피.씽크로트론.경사/곡면 패턴 제작.복잡 형상.정밀가공.초정밀 몰드 인써트. |
□ 연구개요
기존의 전통적인 리소그래피 공정기술을 이용하여 마이크로미터급 형상 가공을 할 경우에 곡면 형상의 기판 혹은 휘어진 기판 상에 초미세 패턴 제작이 매우 어려운 문제가 발생한다. 또한, 일반적 리소그래피 공정기술의 경우 형성되는 초미세 형상이 특정 각도를 지니거나, 동일 기판 내 미세패턴의 형상 각도가 상이한 복잡구조의 구현이 불가능하다. 본 연구에서는 이러한 곡면 및 휘어진 기판상에 마이크로패턴을 제작할 수 있는 독창적인 마이크로패터닝 기술을 개발하였고, 또한 유연한 기판 특성을 활용하여 동일 기판 내 방향성이 다른
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