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NTIS 바로가기주관연구기관 | 광주과학기술원 Gwangju Institute of Science and Technology |
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연구책임자 | 석태준 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2020-08 |
과제시작연도 | 2020 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
사업 관리 기관 | 한국연구재단 National Research Foundation of Korea |
등록번호 | TRKO202100015435 |
과제고유번호 | 1711107761 |
사업명 | 개인기초연구(과기정통부)(R&D) |
DB 구축일자 | 2021-10-23 |
키워드 | 실리콘 포토닉스.광집적회로.광위상 변환기.미세전자기계시스템.집적광학. |
□ 연구개요
본 연구에서는 대규모 실리콘 광집적회로에서 필요한 초저전력 광위상 변환기를 멤스 구동방식을 이용하여 개발하는 것을 목표로 함. 이를 위하여,
1) 국내 실리콘 포토닉스 공정 인프라를 활용하여 공정 기술 수준을 검증하고,
2) 광집적회로를 구성하기 위한 기본적인 수동 소자들을 개발하며,
3) 최종적으로 멤스 구동 기반의 실리콘 광위상 변환기를 개발하는 것이 연구의 범위임.
이러한 연구 목표를 달성하기 위해, 소자 설계, 공정 제작, 성능 검증의 순환 과정을 재귀적으로 수행함.
□ 연
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