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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한양대학교 HanYang University |
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연구책임자 | 최창환 |
참여연구자 | 김형준 |
보고서유형 | 1단계보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2018-12 |
과제시작연도 | 2018 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
등록번호 | TRKO202200001559 |
과제고유번호 | 1711070474 |
사업명 | 나노·소재기술개발(R&D) |
DB 구축일자 | 2022-06-11 |
키워드 | 신경세포 모방 소자.직접 전사.인터커넥트.뉴로모픽 시스템.neuromorphic device.Monolithic 3D.direct transfer.interconnection.neuromorphic system. |
❍ 소자층 직접전사 방식 기반 3차원 집적 공정 플랫폼 개발
1) 소자층 분리공정기술 및 웨이퍼 접합공정기술 개발
2) 소자층 저온 고정밀 직접전사 공정기술 개발
3) 고집적 적측형 신경세포 모방 소자 시스템 구현
❍ 고집적 신경세포 모방 소자 인터커넥션 형성을 위한 초정밀 나노공정 기술 개발
1) 인터커넥션의 고균일도, 고종횡비, 저손상 연속식각 위한 나노식각공정 개발
2) 시냅스/뉴론 인터커넥션을 위한 초미세 패터닝 기술 개발
3) 시냅스/뉴론 소자층간 인터커넥션용 고강도 절연막 및
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